[實用新型]具有穩定工作狀態的離子束拋光機

有效

• 申請號: 201721170980.5
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN207139439U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 倪磊;倪晉
• 申請（專利權）人: 成都睿坤科技有限公司
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙)51220
• 代理人: 馬碧娜

技術領域

本實用新型涉及離子束拋光機領域，具體涉及具有穩定工作狀態的離子束拋光機。

背景技術

所謂離子束拋光，就是把惰性氣體，如氬、氮等放在密閉空間中，用高頻電磁振蕩或放電等方法對陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用5千至10萬伏高電壓對這些正離子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細束,形成高能量密度離子流，在計算機的控制下轟擊放在真空室經過精磨的工件表面，從其表面把工件物質一個原子一個原子地濺射掉。用這種方法實現對工件表面進行深度從100埃到10微米左右的精密加工?，F有的小型離子束拋光機，大都在放電腔的出口端設置格柵板，格柵板外設置鎢絲作為陰極，陽極設置在放電腔內，實現透過格柵板的電離，通過格柵板實現離子束的生成。然而，現有技術中，由于鎢絲無法單獨設置，都需要在格柵板外設置安裝塊來固定鎢絲，鎢絲的一端懸空在安裝塊外，在工作過程中，由于鎢絲溫度極高，鎢絲會逐漸處于熔融狀態，甚至會端部下墜搭靠在格柵板上，同時鎢絲電離過程中會產生大量正離子，這些離子會附著在格柵板、安裝塊表面，時間稍長就會鋪滿格柵板和安裝塊表面，形成導體，并與搭靠在格柵板上的鎢絲構成一個完整的回路，導致鎢絲被短路，無法正常電離出陽離子，導致離子束拋光機無法在較長時間內保持正常工作，需要間隔工作時間進行清理。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供具有穩定工作狀態的離子束拋光機，以解決現有技術中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，實現提高離子束拋光機的正常工作時長、降低清理頻率的目的。

本實用新型通過下述技術方案實現：

具有穩定工作狀態的離子束拋光機，包括放電腔、位于放電腔內的陽極板、以及設置在放電腔出口端的若干層格柵板，最外層格柵板上設置安裝塊，所述安裝塊上設置鎢絲，所述鎢絲的一端伸出至安裝塊外側，所述安裝塊的側面設置若干方槽，所述方槽的開口方向朝向鎢絲伸出至安裝塊外側的方向。

針對現有技術中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，本實用新型提出一種具有穩定工作狀態的離子束拋光機，放電腔內設置陽極板，鎢絲作為陰極設置在安裝塊上，陰極與陽極之間的連接方式不屬于本實用新型的保護范圍，任何現有的電連接方式即可。放電腔的出口端設置若干層格柵板，便于離子穿過，安裝塊設置在最外層的格柵板上。本實用新型在安裝塊的側面設置若干向內凹陷的方槽，并且使得方槽的開口方向朝著鎢絲伸出方向，因此鎢絲電離而成的陽離子附著在格柵板和安裝塊表面后，由于方槽的存在，陽離子非常不便進入凹槽中，非常不便鋪滿整個凹槽的各表面，因此使得成片連通的陽離子在凹槽處被切斷，即使鎢絲的自由端下墜搭靠在格柵板表面，也無法在短時間內構成對鎢絲的短路現象，因此極大的提高了離子束拋光機的正常工作時長，極大的降低了清理頻率，使得離子束拋光機的使用效率得到了顯著提升。

進一步的，相鄰兩塊格柵板之間固定連接陶瓷球。相較于傳統技術中僅使用螺栓等進行連接的方式，本實用新型還通過固定的陶瓷球對相鄰兩塊格柵板進行連接，極大的提高了格柵板之間的連接穩定性，同時還提高了承載與受力性能，因此提高了離子束拋光機的整體強度。

優選的，所述格柵板呈圓形，格柵板上的通孔分布在格柵板中心位置。格柵板上的通孔用于讓離子通過，因此將其集中在圓形的格柵板的中心位置，會提高離子束的集中率，提高離子束轟擊拋光的效果。

優選的，所述陽極板通過導線電連接至放電腔外部。

優選的，所述放電腔上設置輸氣口。通過輸氣口便于連續不斷的向放電腔內供入惰性氣體，從而配合本實用新型較長的連續工作時長，進行連續不間斷的拋光作業。

優選的，所述鎢絲還固定連接在放電腔外壁上。即是還將鎢絲固定資放電腔的外壁上，進一步提高鎢絲的結構穩定性。

本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：

本實用新型具有穩定工作狀態的離子束拋光機，由于方槽的存在，陽離子非常不便進入凹槽中，非常不便鋪滿整個凹槽的各表面，因此使得成片連通的陽離子在凹槽處被切斷，即使鎢絲的自由端下墜搭靠在格柵板表面，也無法在短時間內構成對鎢絲的短路現象，因此極大的提高了離子束拋光機的正常工作時長，極大的降低了清理頻率，使得離子束拋光機的使用效率得到了顯著提升。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型實施例的限定。在附圖中：

圖1為本實用新型具體實施例的結構示意圖；