[實(shí)用新型]用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721169063.5 | 申請日： | 2017-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN207139437U | 公開（公告）日： | 2018-03-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 倪磊;倪晉 | 申請（專利權(quán)）人： | 成都睿坤科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙)51220 | 代理人： | 馬碧娜 |
| 地址： | 610000 四川省成都市雙流西*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 離子束 拋光機(jī) 多層 格柵 板結(jié) | ||
1.用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，包括若干層上下排布的板體(1)，其特征在于，所述板體(1)上設(shè)置若干上下連通的通孔(4)，板體(1)頂面固定連接若干陶瓷球(2)，所述板體(1)底面設(shè)置若干凹槽(3)，所述凹槽(3)的表面為與所述陶瓷球(2)半徑相等的球面、且所述凹槽(3)的縱截面呈劣弧狀；所述板體(1)頂面的陶瓷球(2)、和板體(1)底面的凹槽(3)一一正對；相鄰兩塊板體(1)之間，下層板體(1)的陶瓷球(2)均放置在上層板體(1)的凹槽(3)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陶瓷球(2)均為中空球體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，其特征在于，每塊板體(1)頂面的陶瓷球(2)均勻分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰兩個陶瓷球(2)之間的間距為1～1.2cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰兩塊板體(1)之間的距離為0.3～0.8cm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子束拋光機(jī)的多層式格柵板結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰兩塊板體(1)上的通孔(4)一一正對。
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