[實(shí)用新型]高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721163764.8
• 申請(qǐng)日: 2017-09-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207362324U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 東野斯陽(yáng);張誠(chéng);陳亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 霍爾果斯迅奇信息科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/26
• 分類號(hào): C23C14/26
• 代理公司: 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11370
• 代理人: 馮譜

1.一種高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，該高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置包括：

多個(gè)坩堝、坩堝支架、感應(yīng)線圈、移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及密封機(jī)構(gòu)，其中，所述多個(gè)坩堝、所述坩堝支架、所述感應(yīng)線圈設(shè)置在真空室中，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述真空室外；

所述多個(gè)坩堝，用于盛放鍍膜材料；

所述坩堝支架，用于對(duì)所述多個(gè)坩堝進(jìn)行支撐；

所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，延伸至所述真空室中與所述坩堝支架連接，用于驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)坩堝中的目標(biāo)坩堝移動(dòng)使所述目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)；

所述感應(yīng)線圈，用于通過(guò)通入高頻電流對(duì)所述目標(biāo)坩堝內(nèi)的鍍膜材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)；

所述密封機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述真空室之間，用于在所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述真空室之間形成密封。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于：

所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括升降機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)延伸至所述真空室中與所述坩堝支架連接，用于驅(qū)動(dòng)所述坩堝支架旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)所述目標(biāo)坩堝旋轉(zhuǎn)；

所述升降機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，用于通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)升降以帶動(dòng)所述坩堝支架升降進(jìn)而帶動(dòng)所述目標(biāo)坩堝升降；或者，所述升降機(jī)構(gòu)延伸至所述真空室中，用于驅(qū)動(dòng)所述目標(biāo)坩堝升降；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和所述升降機(jī)構(gòu)配合工作使所述目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于：

所述坩堝支架在所述真空室中水平設(shè)置；

所述多個(gè)坩堝在所述坩堝支架上沿圓周分布；

所述感應(yīng)線圈設(shè)置在所述圓周正下方的位置上；

所述升降機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，用于通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上升以帶動(dòng)所述坩堝支架上升使所述目標(biāo)坩堝的底部高于所述感應(yīng)線圈的頂部；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述坩堝支架旋轉(zhuǎn)使所述目標(biāo)坩堝沿所述圓周旋轉(zhuǎn)至所述感應(yīng)線圈的正上方；

所述升降機(jī)構(gòu)，還用于通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)下降以帶動(dòng)所述坩堝支架下降使所述目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于：

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和旋轉(zhuǎn)軸；

所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在所述真空室的下方，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接、另一端穿過(guò)所述真空室的底板延伸至所述真空室中與所述坩堝支架連接，其中，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)工作時(shí)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)所述坩堝支架旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于：

所述升降機(jī)構(gòu)包括升降軸、基板、升降板以及升降氣缸；

所述升降板與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；

所述升降軸同軸設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸外，所述升降軸的一端與所述升降板密封固定連接、另一端通過(guò)所述密封機(jī)構(gòu)與所述真空室底板形成密封；

所述基板與所述密封機(jī)構(gòu)連接；

所述升降氣缸的缸體固定在所述基板上，所述升降氣缸的活塞桿與所述升降板連接；

所述升降機(jī)構(gòu)工作時(shí)，所述升降氣缸通過(guò)所述活塞桿帶動(dòng)所述升降板以及所述升降軸的上升和下降、進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及所述坩堝支架的上升和下降。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括：

調(diào)節(jié)螺桿以及與該調(diào)節(jié)螺桿配合使用的螺母，其中，所述調(diào)節(jié)螺桿的一端與所述活塞桿連接、另一端通過(guò)所述螺母與所述升降板連接，通過(guò)調(diào)節(jié)所述螺母的位置調(diào)節(jié)所述升降板的升降距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括：

第一導(dǎo)向桿，所述第一導(dǎo)向桿設(shè)置在所述基板和所述升降板之間，所述第一導(dǎo)向桿的一端與所述基板固定、另一端穿過(guò)所述升降板，所述升降板在所述活塞桿的帶動(dòng)下沿所述第一導(dǎo)向桿上升和下降。

8.根據(jù)權(quán)利要求3至7中任一項(xiàng)所述的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置還包括：

第一定位機(jī)構(gòu)，與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，用于在檢測(cè)到所述目標(biāo)坩堝旋轉(zhuǎn)至所述感應(yīng)線圈的正上方時(shí)觸發(fā)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)停止工作。