[實用新型]一種改進式高純化學品蒸發器

有效

• 申請號: 201721160058.8
• 申請日: 2017-09-11
• 公開（公告）號: CN207699663U
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 王宗旻
• 申請（專利權）人: 王宗旻
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 北京方向標知識產權代理事務所(普通合伙) 11636
• 代理人: 段斌

本實用新型公開了一種改進式高純化學品蒸發器，其結構包括：收集系統、旋蒸主機面板、旋蒸主機、機頭、角度調節手柄、伸縮桿、主機底座、升降手柄、水浴鍋、水浴鍋操作面板、水浴鍋開關、調節按鈕、數字顯示屏、水浴鍋底座、支撐柱，收集系統通過機頭與旋蒸主機相配合，機頭與角度調節手柄一體化結構，機頭底端與伸縮桿相連接，伸縮桿底端設有升降手柄，旋蒸主機與主機底座為一體化結構，水浴鍋操作面板、水浴鍋開關、底座與支撐柱為一體化結構；本實用新型的一種改進式高純化學品蒸發器，裝設有加熱水浴鍋、旋蒸主機以及化學品冷凝收集系統，能夠對蒸發溫度進行有效的控制，旋蒸主機對化學品旋旋轉蒸發，避免了蒸發不徹底，蒸發率高。

技術領域

本實用新型是一種改進式高純化學品蒸發器，屬于蒸發器技術領域。

背景技術

高純化學品(如：二乙基鋅DEZ、三甲基鋁TMA等)已經廣泛地應用于電子器件，如薄膜太陽能電池的制造，以及生物制藥等行業領域。應用于精密電子器件制造時，往往采用蒸發器的辦法，即通過控制加熱溫度，使化學品蒸發、汽化后，再通過MFC(氣體質量流量計)精確控制流入反應器(或工藝腔室)內，然后經過化學反應后形成各種薄膜。

現有技術公開了申請號為：201420032846.9的一種改進式高純化學品蒸發器，包括蒸發器主體，所述蒸發器主體的頂部設置有化學品導入管和蒸汽導出管，其特征在于：所述蒸發器主體上垂直安裝有與化學品導入管相連通的中心管，中心管底部設置有環狀管網，環狀管網包括環形的外圈，所述外圈通過若干條呈輻射狀的連接管與中心管底部相連通，外圈和連接管上均勻地設置有若干個小孔。本實用新型設計新穎，使用方便，由于不安裝運動部件和機構，可靠性高，不會污染化學品，同時加熱速度快、效果好，能很好地對高純化學品進行蒸發和汽化處理。但現有技術傳統的純化學品蒸發器存在著無法對蒸發溫度進行有效的控制，蒸發過程中，高純化學品蒸發不徹底，蒸發效率低，蒸發效果差的問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種改進式高純化學品蒸發器，以解決現有技術傳統的純化學品蒸發器存在著無法對蒸發溫度進行有效的控制，蒸發過程中，高純化學品蒸發不徹底，蒸發效率低，蒸發效果差的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種改進式高純化學品蒸發器，其結構包括：收集系統、旋蒸主機面板、旋蒸主機、機頭、角度調節手柄、伸縮桿、主機底座、升降手柄、水浴鍋、水浴鍋操作面板、水浴鍋開關、調節按鈕、數字顯示屏、水浴鍋底座、支撐柱，所述收集系統通過機頭與旋蒸主機相配合，所述旋蒸主機上方設有旋蒸主機面板，所述旋蒸主機前方設有機頭，所述機頭與角度調節手柄一體化結構，所述機頭底端與伸縮桿相連接，所述伸縮桿底端設有升降手柄，所述旋蒸主機與主機底座為一體化結構，所述水浴鍋底端安裝有支撐柱，所述水浴鍋操作面板、水浴鍋開關、底座與支撐柱為一體化結構，其特征在于：

所述旋蒸主機與機頭為活動連接，所述機頭與角度調節手柄相焊接，所述機頭與伸縮桿頂端固定連接，所述伸縮桿底端與升降手柄相連接，所述水浴鍋與支撐柱為間隙配合，所述水浴鍋前方裝設有水浴鍋操作面板，所述水浴鍋操作面板上設水浴鍋開關、調節按鈕與數字顯示屏，所述水浴鍋操作面板右側裝設有水浴鍋開關，所述水浴鍋底座與支撐柱相焊接；

所述收集系統由旋轉瓶、冷凝管、進水口、牛角管、收集瓶夾、收集瓶、圓形支架、支撐架、支撐架底座組成，所述旋轉瓶與機頭右側接口過盈配合，所述冷凝管與機頭左側接口過盈配合，所述冷凝管與進水口和牛角管為一體化結構，所述冷凝管與收集瓶為過盈配合，所述收集瓶與圓形支架為間隙配合，所述圓形支架、支撐架與支撐架底座為一體化結構。

進一步地，所述旋蒸主機面板裝設有旋蒸主機開關、轉速調節旋鈕與數字顯示屏。

進一步地，所述旋蒸主機內部裝設有伺服電機，旋蒸主機后端設有電源接口。

進一步地，所述水浴鍋內裝設有加熱線圈。

進一步地，所述伸縮桿底端設有彈簧裝置。