[實用新型]氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721159424.8
• 申請日: 2017-09-12
• 公開（公告）號: CN207483844U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李華;趙許飛;張猛;童洪波
• 申請（專利權(quán)）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/455
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 文雯

本實用新型提供一種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)，包括三甲基鋁蒸汽噴淋器、緊固裝置一、N2O噴淋器、緊固裝置二和分體式U型擋板，三甲基鋁蒸汽噴淋器焊接有緊固裝置一，分體式U型擋板包括三甲基鋁噴淋器擋板和N2O氣體噴淋器擋板，N2O氣體噴淋器擋板采用U型，N2O氣體噴淋器擋板的兩側(cè)分別設(shè)有三甲基鋁噴淋器擋板，三甲基鋁蒸汽噴淋器通過緊固裝置一連接三甲基鋁噴淋器擋板，三甲基鋁噴淋器擋板設(shè)有通孔一，通孔一連通三甲基鋁蒸汽噴淋器的出氣口；該機構(gòu)能夠避免了AlOx聚集堵塞三甲基鋁蒸汽噴淋器，有效解決一體式U型擋板因為鋼板折彎精度不準(zhǔn)確帶來的無法正確安裝的問題，并有效保證整個噴淋器較為均勻的供氣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)。

背景技術(shù)

在Meyer Burger MAiA AlOx鍍膜裝置中，在300~400攝氏度的高溫下，氣體噴淋器噴出的三甲基鋁蒸汽和N2O在等離子體的作用下反應(yīng)，基片在鍍膜裝置附近經(jīng)過就會在基片表面形成AlOx薄膜，AlOx不僅僅在基片表面形成，在不銹鋼材質(zhì)的一體式U型擋板也會有。隨著反應(yīng)的持續(xù)進行，會在U型擋板上形成厚厚的AlOx，高溫情況下這些厚厚的AlOx會使 U型擋板出現(xiàn)形變，這些形變會使擋板與氣體噴淋器直接存在1~2毫米的縫隙，AlOx就會在這些縫隙內(nèi)聚集，最終導(dǎo)致氣體噴淋器無法正常工作。而且三甲基鋁蒸汽在通過氣管向氣體噴淋器傳輸時，一進二出的設(shè)計會使氣體噴淋器內(nèi)的氣體分布不均勻，特別是兩端所獲得的氣量偏少，會使兩端鍍膜膜厚偏薄。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的厚厚的AlOx會使 U型擋板出現(xiàn)形變的問題。

本實用新型的技術(shù)解決方案是：

一種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)，包括三甲基鋁蒸汽噴淋器、緊固裝置一、N2O噴淋器、緊固裝置二和分體式U型擋板，三甲基鋁蒸汽噴淋器焊接有緊固裝置一，分體式U型擋板包括三甲基鋁噴淋器擋板和N2O氣體噴淋器擋板，N2O氣體噴淋器擋板采用U型，N2O氣體噴淋器擋板的兩側(cè)分別設(shè)有三甲基鋁噴淋器擋板，三甲基鋁蒸汽噴淋器通過緊固裝置一連接三甲基鋁噴淋器擋板，三甲基鋁噴淋器擋板設(shè)有通孔一，通孔一連通三甲基鋁蒸汽噴淋器的出氣口，N2O噴淋器焊接有緊固裝置二，N2O氣體噴淋器擋板通過緊固裝置二連接N2O噴淋器，N2O氣體噴淋器擋板設(shè)有通孔二，通孔二連通N2O噴淋器的噴氣口。

進一步地，三甲基鋁蒸汽噴淋器采用“一進四出”模式的三甲基鋁蒸汽噴淋器。

進一步地，三甲基鋁蒸汽噴淋器包括總氣路和第一支路、第二支路，第一支路的兩端分別連通第二支路的中部，第二支路的兩端分別連通三甲基鋁噴淋器擋板的通孔一，第一支路的中部連通總氣路。

進一步地，緊固裝置一與緊固裝置二的結(jié)構(gòu)相同。

進一步地，緊固裝置一包括緊固板、緊固螺桿和緊固螺栓，緊固板設(shè)有用于連通通孔與三甲基鋁蒸汽噴淋器的出氣口的過氣孔，緊固螺桿的端部連接在緊固板，三甲基鋁噴淋器擋板設(shè)有用于緊固螺桿穿過的固定孔，緊固螺栓與緊固螺桿螺紋適配。

本實用新型的有益效果是：

一、該種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)，通過緊固裝置一，分體式U型擋板中兩側(cè)的三甲基鋁噴淋器擋板可以與三甲基鋁噴淋器緊密貼合，避免了AlOx聚集堵塞三甲基鋁蒸汽噴淋器。

二、該種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)，將一體式的U型擋板分成兩側(cè)的三甲基鋁噴淋器擋板和中間的N2O氣體噴淋器擋板三個部分。分體式U型擋板有效解決了一體式U型擋板因為鋼板折彎精度不準(zhǔn)確帶來的無法正確安裝的問題。

三、該種氧化鋁鍍膜裝置的氣體噴淋機構(gòu)，在兩側(cè)的兩個三甲基鋁噴淋器和中間的N2O噴淋器上焊接了若干數(shù)量的螺紋緊固裝置一，用于固定分體式U型擋板。