[實用新型]一種適用于太陽能電池的進氣系統

有效

• 申請號: 201721156777.2
• 申請日: 2017-09-11
• 公開（公告）號: CN207353276U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 張春華;徐義勝;陳佳男;侯玉;衡陽;鄭旭然;李棟;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種適用于太陽能電池的進氣系統，包括爐體(1)，其特征在于，還包括：

用于氣體進入所述爐體(1)的管路，所述管路設置有氣體流量計；及

與所述管路并列設置的旁路管路(10)，所述旁路管路(10)的兩端分別通過連接閥(11)連接于位于所述爐體(1)與所述氣體流量計之間的所述管路上，所述旁路管路(10)上沿所述氣體流量計至所述爐體(1)的方向依次設置有泄壓閥(12)和氣路報警裝置(13)。

2.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述旁路管路(10)的直徑為10～25mm。

3.根據權利要求2所述的進氣系統，其特征在于，所述旁路管路(10)的直徑為15mm。

4.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述連接閥(11)為三通閥。

5.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述泄壓閥(12)的泄壓閥值為3～5bar。

6.根據權利要求5所述的進氣系統，其特征在于，所述泄壓閥(12)的泄壓閥值為4bar。

7.根據權利要求1～6任一項所述的進氣系統，其特征在于，所述管路包括用于氮氣進入所述爐體(1)的第一管路(3)，所述第一管路(3)設置有氮氣流量計(2)，所述旁路管路(10)的兩端分別連接于位于所述氮氣流量計(2)和所述爐體(1)之間的所述第一管路(3)上。

8.根據權利要求1～6任一項所述的進氣系統，其特征在于，所述管路包括用于氧氣進入所述爐體(1)的第二管路(5)，所述第二管路(5)設置有氧氣流量計(4)，所述旁路管路(10)的兩端分別連接于位于所述氧氣流量計(4)和所述爐體(1)之間的所述第二管路(5)上。

9.根據權利要求1～6任一項所述的進氣系統，其特征在于，所述管路包括：

用于通源氣體進入源瓶(8)的第三管路(7)，所述第三管路(7)連接有通源氮氣流量計(6)；及

用于所述源瓶(8)流出的攜源氣體進入所述爐體(1)的第四管路(9)；

其中，所述旁路管路(10)的一端連接于位于所述通源氮氣流量計(6)與所述源瓶(8)之間的所述第三管路(7)上、另一端連接于位于所述源瓶(8)與所述爐體(1)之間的所述第四管路(9)上。

10.根據權利要求1～6任一項所述的進氣系統，其特征在于，所述管路的壓力范圍為2.5～3.5bar。