[實用新型]卡點、石墨舟片及石墨舟

有效

• 申請號: 201721154436.1
• 申請日: 2017-09-11
• 公開（公告）號: CN207183244U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 李苗苗;周海斌
• 申請（專利權）人: 上海億橫精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 李思霖

1.一種卡點，其特征在于，包括固定部(1)和卡緊部(2)，所述卡緊部(2)與所述固定部(1)之間形成有卡槽(3)，所述固定部(1)用于與石墨舟片可拆卸式固定連接，所述卡槽(3)用于卡入硅片(5)；所述卡緊部(2)自其外沿向內設有缺口。

2.根據權利要求1所述的卡點，其特征在于，所述缺口位于所述卡緊部(2)端部靠近中間的位置，且所述卡緊部(2)上缺口的兩側均形成卡緊頭。

3.根據權利要求2所述的卡點，其特征在于，所述缺口為“U”型缺口(4)。

4.根據權利要求1－3中任一項所述的卡點，其特征在于，所述卡緊部(2)為圓形，所述卡緊部(2)上沿其圓周設有至少一個缺口；所述固定部(1)也為圓形。

5.根據權利要求1－3中任一項所述的卡點，其特征在于，所述卡緊部(2)為菱形，所述缺口為兩個，且分別設于所述卡緊部(2)上呈銳角的兩個角上。

6.根據權利要求1－3中任一項所述的卡點，其特征在于，所述卡緊部(2)包括長方形部和弧形部，所述弧形部為兩個，且分別設于所述長方形部的兩個短邊上，所述缺口為兩個，且分別設于所述弧形部上。

7.根據權利要求1－3中任一項所述的卡點，其特征在于，所述卡緊部(2)為三角形，所述缺口為三個，且分別設于所述卡緊部(2)的三個角上。

8.根據權利要求1－3中任一項所述的卡點，其特征在于，所述卡緊部(2)為兩個，且兩個所述卡緊部(2)分別對稱設于所述固定部(1)的兩側。

9.一種石墨舟片，其特征在于，包括舟片本體和權利要求1－8中任一項所述的卡點，所述舟片本體上沿其長度方向設有多個硅片位，所述舟片本體上靠近所述硅片位的位置分散設有多個安裝孔，所述安裝孔與所述卡點的固定部(1)相匹配。

10.一種石墨舟，其特征在于，包括權利要求9所述的石墨舟片，所述石墨舟片為多個，且沿其厚度方向依次并列排布，多個所述石墨舟片的兩端均設有相對應的連接孔，位于同一側的多個所述連接孔中穿設有石墨桿。