[實(shí)用新型]一種晶圓和掩膜版接觸夾緊裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721154100.5
• 申請(qǐng)日: 2017-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207217498U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田飛;劉芳軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 揚(yáng)州思普爾科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;G03F7/20
• 代理公司: 南京常青藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32286
• 代理人: 黃胡生

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓和掩膜版接觸夾緊裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體設(shè)備中，晶圓與掩膜版的緊密接觸，多采用外加預(yù)應(yīng)力夾緊裝置，對(duì)于不平整的晶圓加工，局部仍然會(huì)有間隙存在，導(dǎo)致曝光線條虛化嚴(yán)重，因此目前需要解決的問(wèn)題，克服晶圓與掩膜版緊密接觸時(shí)，由于夾緊力的不夠存在接觸間隙的問(wèn)題。

專(zhuān)利晶圓固定裝置(公布號(hào)：CN105161449A)揭示了一種晶圓固定裝置，包括：夾具、聯(lián)軸器和密封圈。夾具包括一盤(pán)狀部分和一桿狀部分，桿狀部分中空形成腔體，盤(pán)狀部分上開(kāi)有真空氣孔，真空氣孔與桿狀部分的腔體連通，盤(pán)狀部分上開(kāi)有環(huán)形槽，盤(pán)狀部分的外周形成有臺(tái)階面，臺(tái)階面低于盤(pán)狀部分的端面。聯(lián)軸器安裝在腔體中，聯(lián)軸器的外壁與腔體的內(nèi)壁密封配合，聯(lián)軸器中形成有貫通孔，真空氣孔、腔體和貫通孔連通形成真空氣槽。密封圈安裝在環(huán)形槽中，密封圈為耐腐蝕彈性材料制作。本發(fā)明的晶圓固定裝置在吸附晶圓時(shí)，晶圓先不與盤(pán)狀部分的端面接觸，而是先與密封圈接觸，提高了晶圓固定裝置的氣密性，使得晶圓能夠被牢固地吸附在晶圓固定裝置上，因此，可以對(duì)盤(pán)狀部分的端面平整度的加工要求減低，以節(jié)省成本，但該發(fā)明不能解決，晶圓與掩膜版的緊密接觸問(wèn)題。

因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，消除晶圓與掩膜版的接觸間隙的晶圓和掩膜版接觸夾緊裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有晶圓與掩膜版的接觸間隙問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種晶圓和掩膜版接觸夾緊裝置，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，消除晶圓與掩膜版的接觸間隙的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

一種晶圓和掩膜版接觸夾緊裝置，包括圓形的夾具、晶圓和掩膜版，所述夾具上放置有所述晶圓，所述晶圓上放置有所述掩膜版，所述掩膜版和所述夾具的邊緣處設(shè)有密封圈，所述密封圈分別與所述掩膜版和所述夾具相接觸，所述夾具上設(shè)有若干直徑依次變大的表面相平的環(huán)狀凸起、若干直徑依次變大的第一環(huán)形凹槽、若干條形凹槽和臺(tái)階孔，所述環(huán)狀凸起和所述第一環(huán)形凹槽在所述夾具表面上依次交錯(cuò)設(shè)置成盤(pán)狀，所述臺(tái)階孔位于所述夾具的中心位置，所述臺(tái)階孔貫穿所述夾具的上下面，所述條形凹槽使所述臺(tái)階孔到最大半徑的所述第一環(huán)形凹槽依次相連通，所述環(huán)狀凸起表面上設(shè)有彈性墊片，所述彈性墊片固定在所述環(huán)狀凸起上，所述晶圓放置在所述彈性墊片上，所述夾具上最大半徑的所述第一環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)有若干彈簧，所述彈簧上設(shè)有所述密封圈，所述掩膜版下表面設(shè)有與所述密封圈位置相匹配的第三環(huán)形凹槽，所述密封圈上部位于所述第三環(huán)形凹槽內(nèi)。

本實(shí)用新型所述環(huán)狀凸起上設(shè)有所述彈性墊片，對(duì)不平整的所述晶圓可消除其與所述夾具間的間隙，所述彈簧在負(fù)壓時(shí)收縮，所述密封圈隨之下降，所述彈簧和所述密封圈的設(shè)置在負(fù)壓狀態(tài)時(shí)可消除所述晶圓和所述掩膜版的接觸間隙。

優(yōu)選的，所述條形凹槽的數(shù)量為4個(gè)，所述條形凹槽在所述夾具上均勻分布。所述條形凹槽的設(shè)置可以使所述第一環(huán)形凹槽之間相連通。

優(yōu)選的，相鄰的所述彈簧在所述第一環(huán)形凹槽內(nèi)相互接觸，所述彈簧在所述第一環(huán)形凹槽內(nèi)均勻分布。所述彈簧均勻設(shè)置，可使所述密封圈上下面相平，使所述夾具和所述掩膜版相平。

優(yōu)選的，所述環(huán)狀凸起在所述夾具上均勻分布，所述第一環(huán)形凹槽在所述夾具上均勻分布。

優(yōu)選的，所述臺(tái)階孔包括第一圓形孔和與所述第一圓形孔相連通的第二圓形孔，所述第一圓形孔的直徑大于所述第二圓形孔的直徑，所述夾具的下表面上設(shè)有第二環(huán)形凹槽，所述第二環(huán)形凹槽位于所述第二圓形孔的外圍，所述第二環(huán)形凹槽內(nèi)還設(shè)有抽氣管，所述抽氣管套接在所述第二環(huán)形凹槽內(nèi)，所述第二環(huán)形凹槽和所述抽氣管之間還設(shè)有密封墊片，所述抽氣管通過(guò)所述密封墊片與所述夾具緊密相接。所述抽氣管使所述夾具和所述晶圓之間的所述第一環(huán)形凹槽和所述條形凹槽內(nèi)呈負(fù)壓狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述第一圓形孔、所述第二圓形孔和所述抽氣管同軸。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型環(huán)狀凸起上設(shè)有彈性墊片，對(duì)不平整的晶圓可消除其與夾具間的間隙，彈簧在負(fù)壓時(shí)收縮，密封圈隨之下降，彈簧和密封圈的設(shè)置在負(fù)壓狀態(tài)時(shí)可消除晶圓和掩膜版的接觸間隙。

附圖說(shuō)明

附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實(shí)用新型夾具結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型夾具粘上彈性墊片后示意圖；

圖3是本實(shí)用新型剖面圖；