[實用新型]一種帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721152301.1
• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN207637752U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊風(fēng);甄輝;王彥君;孫晨光;徐長坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;王曉捧;王宏宇;徐艷超
• 申請（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，包括藥液槽，其特征在于：所述藥液槽底部設(shè)有藥液槽進(jìn)液系統(tǒng)(3)，所述藥液槽外部設(shè)有循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)，所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)的進(jìn)口與所述藥液槽連接；所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)的出口與循環(huán)泵浦(7)連接，所述循環(huán)泵浦(7)與所述藥液槽進(jìn)液系統(tǒng)(3)連接；所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)與設(shè)置在所述藥液槽旁邊的冷水機組(4)冷卻連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述循環(huán)泵浦(7)與所述藥液槽進(jìn)液系統(tǒng)(3)之間設(shè)有循環(huán)過濾器(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)包括一個冷卻槽；所述冷卻槽與所述藥液槽相連；所述冷卻槽內(nèi)均勻設(shè)有冷水管路，所述冷水管路的進(jìn)口和出口均與所述冷水機組(4)相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽進(jìn)液系統(tǒng)(3)的頂部設(shè)有均勻的進(jìn)液孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述冷水機組(4)內(nèi)盛有水；所述冷水機組(4)內(nèi)設(shè)有對所述水進(jìn)行冷卻的冷卻機構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽的四周內(nèi)壁上設(shè)有藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)，所述藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)與所述冷水機組(4)相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)包括若干冷卻盤，所述冷卻盤由冷卻盤管路構(gòu)成，所述冷卻盤管路的入口和出口均與所述冷水機組(4)相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求2-3、5-7任一所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽為上開口的容器，所述藥液槽的上方開口處設(shè)有排氣系統(tǒng)(1)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述帶有藥液循環(huán)裝置的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽與所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)之間的連接管路上設(shè)有調(diào)節(jié)流量的閥門；所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)與所述循環(huán)泵浦(7)之間的連接管路上設(shè)有調(diào)節(jié)流量的閥門；所述循環(huán)泵浦(7)與所述循環(huán)過濾器(5)之間的連接管路上設(shè)有調(diào)節(jié)流量的閥門。