[實(shí)用新型]下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置及等離子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721149762.3
• 申請(qǐng)日: 2017-09-08
• 公開（公告）號(hào): CN207338299U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊雄;姜宏偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京思創(chuàng)畢升專利事務(wù)所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，包括：

電極銅柱，其一端設(shè)有用于容納靜電卡盤電極探針的第一盲孔，所述電極銅柱的另一端設(shè)有用于容納下電極濾波盒插頭的第二盲孔；

電極探針套，其設(shè)置在所述電極銅柱和靜電卡盤電極探針的外部，用于將所述靜電卡盤電極探針定位在所述第一盲孔中，以使所述靜電卡盤電極探針與所述電極銅柱電接觸；以及

下電極濾波盒插頭，其固定在所述下電極濾波盒上，所述下電極濾波盒插頭的一端與所述第二盲孔之間接觸，從而使所述下電極濾波盒插頭與所述電極銅柱電接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，所述電極探針套為環(huán)形絕緣件，其內(nèi)表面具有臺(tái)階面，以與所述電極銅柱的外表面以及靜電卡盤電極探針的外表面都緊密接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，所述電極銅柱固定在設(shè)置于靜電卡盤下方的接口盤中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，還包括卡套組件，用于將所述電極銅柱固定在所述接口盤中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，所述卡套組件包括絕緣材料制成的為環(huán)形件的第一卡套和第二卡套，所述第一卡套外表面具有與接口盤相配合的臺(tái)階面，內(nèi)表面具有用于卡住所述電極銅柱的臺(tái)階面，所述第二卡套與所述第一卡套通過螺紋連接，共同將所述電極銅柱固定在所述接口盤中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在所述下電極濾波盒表面的絕緣固定板，所述下電極濾波盒插頭的另一端固定在所述絕緣固定板中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，還包括插頭固定組件，用于將所述下電極濾波盒插頭的另一端固定在所述絕緣固定板中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，所述插頭固定組件包括絕緣材料制成的為環(huán)形件的第一固定件和第二固定件，所述第一固定件和所述下電極濾波盒插頭的另一端通過螺紋連接，置入所述絕緣固定板的凹槽中，所述第二固定件抵住第一固定件，并且所述第二固定件和所述絕緣固定板通過螺紋連接，將所述下電極濾波盒插頭的另一端固定在所述絕緣固定板中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置，其特征在于，所述下電極濾波盒插頭容納在所述第二盲孔內(nèi)的部分設(shè)置彈簧片，并且所述彈簧片與所述第二盲孔之間為過盈配合。

10.一種等離子設(shè)備，其特征在于，其中的下電極濾波盒通過如權(quán)利要求1-9中的一項(xiàng)所述的下電極濾波盒與靜電卡盤的連接裝置連接在靜電卡盤的電極探針上。