[實用新型]硅片吸盤

有效

• 申請號: 201721141990.6
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN208070807U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 董曉清;邱其偉
• 申請（專利權）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

本實用新型公開了一種硅片吸盤，包括吸盤本體，所述吸盤本體上設置有若個中空部，中空部從吸盤本體的正面貫穿至反面，每個中空部中設置有一個吸嘴，吸嘴的拐角處通過掛鉤彈簧連接吸盤本體，吸嘴的吸附面與掛鉤彈簧擺動軌跡形成的平面垂直設置，吸盤本體的頂部設置有一個主氣道，主氣道連接若干個氣嘴，氣嘴通過氣管連通吸嘴。采用該吸盤吸附硅片時，當吸盤發生抖動時，掛鉤彈簧可以起到緩沖作用，減少吸嘴與吸盤的碰撞動量，從而保護硅片。

技術領域

本實用新型涉及硅片裝卸技術領域，具體涉及一種硅片吸盤。

背景技術

花籃在硅片是硅片運輸過程中的重要工具，每個花籃中放置的硅片數量也不相同，隨著硅片加工工藝要求要來越高，其加工工藝也越來越復雜，硅片裝卸裝置的要求也越來越高，現有的硅片吸盤結構較為簡單，由于硅片質地脆弱，當吸盤的負壓較大時，或者當吸盤發生抖動時，吸盤易損壞硅片，從而影響硅片質量。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種吸附過程中能減少硅片破損的吸盤。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：一種硅片吸盤，包括吸盤本體，所述吸盤本體上設置有若個中空部，中空部從吸盤本體的正面貫穿至反面，每個中空部中設置有一個吸嘴，吸嘴的拐角處通過掛鉤彈簧連接吸盤本體，吸嘴的吸附面與掛鉤彈簧擺動軌跡形成的平面垂直設置，吸盤本體的頂部設置有一個主氣道，主氣道連接若干個氣嘴，氣嘴通過氣管連通吸嘴，在吸盤本體上還設置有多個條形槽，掛鉤彈簧設置在條形槽中。

進一步的，每個初始裝填的掛鉤彈簧以及吸嘴的吸附面均與吸盤平行設置。

進一步的，所述吸盤本體上設置有若干個凹槽，氣嘴位于凹槽中且與凹槽一一對應，凹槽連通中空部。

進一步的，所述吸盤本體的上頂面還設置有兩個螺孔，用于將吸盤本體固定在外部設備上。

進一步的，每個吸嘴配置四個掛鉤彈簧，掛鉤彈簧兩兩對稱設置。

從上述技術方案可以看出本實用新型具有以下優點：采用該吸盤吸附硅片時，當吸盤發生抖動時，掛鉤彈簧可以起到緩沖作用，減少吸嘴與吸盤的碰撞動量，從而保護硅片。

附圖說明

圖1為本實用新型的正視圖；

圖2為本實用新型的側視圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細說明。

如圖1和圖2所示，本實用新型的一種硅片吸盤，包括吸盤本體6，吸盤本體6上設置有3個中空部2，中空部2從吸盤本體6的正面貫穿至反面，每個中空部中設置有一個吸嘴3，吸嘴3的拐角處通過掛鉤彈簧1連接吸盤本體6，掛鉤彈簧1的兩端均設置有掛鉤，在吸盤本體的四個拐角處設置有掛環，吸盤本體6上相應位置也設置掛環結構，掛鉤彈簧1的兩端分別設置吸嘴3以及吸盤本體6的掛環上，每個吸嘴3配置四個掛鉤彈簧1，掛鉤彈簧1兩兩對稱設置，利用掛鉤彈簧1將吸嘴3進行懸掛，在初始裝置下，掛鉤彈簧1以及吸嘴的吸附面均與吸盤平行設置。在吸附過程中，吸嘴3的吸附面與掛鉤彈簧1擺動軌跡形成的平面垂直設置。在吸盤本體上還設置有多個條形槽，掛鉤彈簧設置在條形槽中。

采用該吸盤吸附硅片時，當吸盤發生抖動時，掛鉤彈簧可以起到緩沖作用，減少吸嘴與吸盤的碰撞動量，從而保護硅片。

吸盤本體6的頂部設置有一個主氣道8(主氣道位于吸盤本體內部部分未畫出)，主氣道 8連接若干個氣嘴7，氣嘴7固定在吸盤本體6上，氣嘴7可通過氣管連通吸嘴3上的氣管接頭4。

吸盤本體6上還設置有若3個凹槽5，氣嘴7位于凹槽中且與凹槽5一一對應，凹槽5連通中空部，凹槽5用于布置連通氣嘴與吸嘴的氣管。

吸盤本體的上頂面還設置有兩個螺孔，用于將吸盤本體固定在外部設備上，為了方便吸盤插入兩個硅片之間，將吸盤的端部9設置成楔形。