[實用新型]一種防破片單面減薄蝕刻承載籃具有效

申請號：	201721141453.1	申請日：	2017-09-07
公開（公告）號：	CN207375957U	公開（公告）日：	2018-05-18
發明（設計）人：	茆令文;鮑兆臣;張少波;徐翠珍;楊金發;謝加加;唐壽武;陶明山;郭浩凌	申請（專利權）人：	凱盛科技股份有限公司
主分類號：	C03C15/00	分類號：	C03C15/00
代理公司：	安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113	代理人：	陳俊
地址：	233010 安徽***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種破片單面蝕刻承載
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【權利要求書】：

1.一種防破片單面減薄蝕刻承載籃具，包括底座，底座上平行間隔設置有一組基片架，其特征在于，每個基片架均包含豎直的立架與傾斜的支撐架，立架與支撐架在頂部相連使基片架在底座上形成直角三角形；所述支撐架鋪設有與玻璃基板尺寸相適應的PVC板，PVC板上設有通孔陣列，PVC板的外表面設有耐酸墊片陣列，通孔陣列與耐酸墊片陣列交錯間隔分布。

2.根據權利要求1所述的一種防破片單面減薄蝕刻承載籃具，其特征在于，所述支撐架與底座之間的夾角為80～85°。

3.根據權利要求1或2所述的一種防破片單面減薄蝕刻承載籃具，其特征在于，所述通孔陣列為方孔陣列。

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