[實用新型]一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201721137663.3
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN207391554U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 曾旭
• 申請（專利權）人: 寧波東盛集成電路元件有限公司;寧波東順電子科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，包括：

工作臺，所述工作臺包括第一工作臺和第二工作臺；所述第一工作臺與所述第二工作臺相互垂直；

浸入裝置，所述浸入裝置包括支撐結構、金屬片容納裝置、升降旋轉機構和蝕刻槽；所述蝕刻槽設置于所述第二工作臺上，并且所述蝕刻槽靠近所述第一工作臺；所述支撐結構設置于所述第二工作臺靠近所述第一工作臺的一端；所述支撐結構設有所述升降旋轉機構，所述升降旋轉機構下連接所述金屬片容納裝置，所述金屬片容納裝置的下方正對所述蝕刻槽；

曝光機構，所述曝光機構設置于所述第一工作臺上；

清洗機構，所述清洗機構設置于所述第二工作臺，所述清洗機構靠近所述浸入裝置；

烘干機構，所述烘干機構設置于所述第二工作臺，所述烘干機構靠近所述清洗機構；

傳送帶裝置，所述傳送帶裝置包括第一傳送帶裝置和第二傳送帶裝置；所述第一傳送帶裝置設置于所述第一工作臺上；所述第二傳送帶裝置設置于所述第二工作臺上。

2.根據權利要求1所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，所述金屬片容納裝置為矩形結構，所述矩形結構內開設若干層凹槽，每一所述凹槽內設置一金屬片卡嵌裝置。

3.根據權利要求2所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，每一所述金屬片卡嵌裝置包括兩相互平行的滑槽和一連接兩所述滑槽的連接部分；所述連接部分的一端連接所述滑槽的一端，所述連接部分的另一端連接另一所述滑槽的一端。

4.根據權利要求3所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，所述金屬片容納裝置包括若干金屬片移動輥，每一所述金屬片卡嵌裝置的下方設置有若干所述金屬片移動輥。

5.根據權利要求1所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，所述支撐結構包括豎直板和水平板；所述豎直板固定連接所述第二工作臺靠近所述蝕刻槽的一端，所述豎直板的上端固定連接所述水平板的一端；所述水平板的一端位于所述蝕刻槽的上方。

6.根據權利要求5所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，所述升降旋轉機構包括轉盤機構和升降裝置；所述轉盤機構設置于所述水平板的下端面，所述轉盤機構的下端面設置所述升降裝置，所述升降裝置的下端面設置所述金屬片容納裝置。

7.根據權利要求5所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，清洗機構，所述清洗機構包括若干水管，若干所述水管設置于所述第二工作臺的寬度方向的兩側。

8.根據權利要求5所述一種自動清洗和自動烘干裝置的蝕刻裝置，其特征在于，包括：檢測裝置、進液裝置和排液裝置；所述進液裝置連接所述蝕刻槽，所述排液裝置連接所述蝕刻槽；所述檢測裝置連接所述蝕刻槽。