[實(shí)用新型]一種電容式薄膜真空壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721137658.2 | 申請日： | 2017-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN207248416U | 公開（公告）日： | 2018-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周繼平 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧國市大榮電器有限公司 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12;G01L19/08 |
| 代理公司： | 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11427 | 代理人： | 陳娟 |
| 地址： | 242300 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電容 薄膜 真空 壓力傳感器 | ||
1.一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)置上電極，所述上電極上設(shè)置調(diào)整電路組件，所述調(diào)整電路組件與電連接組件電連接，所述電連接組件伸出殼體并與顯示組件連接，所述上電極和殼體底部形成空腔，在空腔中部設(shè)置一薄膜，所述薄膜和上電極之間形成測量空腔，所述薄膜和殼體底部之間形成真空空腔，所述測量空腔的側(cè)壁上設(shè)置進(jìn)氣管，所述殼體底部設(shè)置抽真空管，所述抽真空管探入真空空腔內(nèi)，所述抽真空管中部設(shè)置測壓表，所述抽真空管的另一端設(shè)置抽真空裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：所述電連接組件與殼體之間設(shè)置密封圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：所述進(jìn)氣管與殼體之間設(shè)置密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：所述抽真空管與殼體之間設(shè)置密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：薄膜的厚度為0.05mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容式薄膜真空壓力傳感器，其特征在于：薄膜與上電極之間的距離為2mm。
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G01L 測量力、應(yīng)力、轉(zhuǎn)矩、功、機(jī)械功率、機(jī)械效率或流體壓力
G01L9-00 用電或磁的壓敏元件測量流體或流動固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力；用電或磁的方法傳遞或指示機(jī)械壓敏元件的位移，該機(jī)械壓敏元件是用來測量流體或流動固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力的
G01L9-02 .利用改變歐姆電阻值的，例如，使用電位計(jì)
G01L9-08 .利用壓電器件的
G01L9-10 .利用電感量變化的
G01L9-12 .利用電容量變化的
G01L9-14 .涉及磁體位移的，例如，電磁體位移的
