[實用新型]測試臺及橢偏儀

有效

• 申請號: 201721132429.1
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN207132855U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: 彭小江;孟祥熙;鄭旭然;潘勵剛;黃浩
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/21;G01N21/01
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 李姿頤

技術領域

本實用新型涉及測量儀器技術領域，尤其是涉及一種測試臺及橢偏儀。

背景技術

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于具有測量精度高、適用于超薄膜、與樣品非接觸、對樣品沒有破壞且不需要真空等優點，橢偏儀已成為一種極具吸引力的測量儀器。在測試過程中，要得到準確的測試結果，照射在薄膜上的激光的入射角必須固定角度，這就要求測試臺的相對水平度固定。

如圖1和圖2所示，在現有技術中，橢偏儀的測試臺底部均無水平度調節裝置，無法滿足測試臺水平度固定的需要，容易出現測試不準確的情況。

實用新型內容

本實用新型第一方面提供一種測試臺，以緩解現有技術中測試臺無法滿足水平度固定而使測試結果不準確的技術問題。

本實用新型提供的測試臺包括：測試平臺和調節基座；調節基座包括水平調節組件，水平調節組件支撐于測試平臺的下方，通過調節水平調節組件在支撐點處的支撐高度使測試平臺水平。

進一步的，水平調節組件包括支撐塊和多個螺桿；每個螺桿均沿豎直方向貫穿支撐塊且與支撐塊螺紋連接，螺桿的頂端與測試平臺抵接。

進一步的，調節基座還包括高度調節組件，高度調節組件包括支撐板和升降元件，升降元件支撐在支撐板的下方，支撐板支撐在測試平臺的下方。

進一步的，升降元件包括第一調節管和與第一調節管螺紋配合的第二調節管，第二調節管的一端伸出第一調節管且與支撐板的底面連接；第二調節管上固定套有用于帶動第二調節管繞其自身軸線轉動的調節環。

進一步的，高度調節組件還包括處于拉伸狀態的彈性件，彈性件位于第一調節管和第二調節管內，且一端與支撐板連接，另一端與第一調節管的底部連接。

進一步的，測試臺還包括傾斜組件，傾斜組件設于調節基座，用于將測試平臺傾斜至設定角度。

進一步的，傾斜組件包括支撐柱，支撐柱的底端安裝于水平調節組件上，頂端支撐測試平臺；支撐柱頂端具有傾斜面，測試平臺可沿傾斜面傾斜。

進一步的，支撐柱的頂端與測試平臺通過轉軸轉動連接，測試平臺可相對于轉軸轉動。

進一步的，支撐柱上設有鎖緊件，測試平臺水平設置時，鎖緊件用于防止測試平臺繞轉軸的軸線轉動的。

本實用新型第二方面提供一種橢偏儀，橢偏儀包括上述的測試臺。

本實用新型提供的測試臺及橢偏儀，測試臺包括：測試平臺和調節基座；調節基座包括水平調節組件，水平調節組件支撐于測試平臺的下方，通過調節水平調節組件在支撐點處的支撐高度使測試平臺水平。在測試過程中，測試平臺的上端面不滿足水平度要求時，調節調節組件在支撐點處的支撐高度，改變測試平臺對應處的高度，調節組件在多個支撐點處配合，將測試平臺調至滿足水平度要求的位置，防止測試平臺的水平度不滿足要求而影響測試結果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中測試臺的結構示意圖一；

圖2為現有技術中測試臺的結構示意圖二；

圖3為本實用新型實施例提供的測試臺的結構示意圖一；

圖4為圖3的右視圖；

圖5為本實用新型實施例提供的測試臺的結構示意圖二。

圖標：100－測試平臺；210－水平調節組件；211－支撐塊；212－螺桿；220－高度調節組件；221－支撐板；222－升降元件；2221－第一調節管；2222－第二調節管；2223－調節環；2224－螺旋彈簧；230－支撐座；300－支撐柱；310－轉軸；320－插銷；400－底座。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。