[實用新型]基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置

有效

• 申請號: 201721111964.9
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN207197534U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 李孟委;耿浩;梁洲鑫;李秀源;吳倩楠
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656;G01B11/02
• 代理公司: 深圳市興科達知識產權代理有限公司44260
• 代理人: 楊小東

1.基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述自解耦微陀螺裝置包括：

上基板，所述上基板中心布置驅動質量塊，在所述驅動質量塊的任意相對兩側設置檢測質量塊，所述檢測質量塊中心處布置有動光柵；

鍵合框體；

下基板，所述下基板通過鍵合框體與所述上基板相互固定，所述下基板上設置有驅動磁體、檢測磁體及定光柵；

所述定光柵與所述動光柵位置相對，并所述動光柵布置方向與所述定光柵布置方向在同一水平面存在角度。

2.根據權利要求1所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述驅動質量塊四個邊角通過驅動機構連接在所述檢測質量塊上；

所述檢測質量塊的兩端通過檢測機構連接在上基板上；

所述驅動磁體及檢測磁體分別對應所述驅動質量塊面向檢測質量塊方向上兩個邊側的驅動機構。

3.根據權利要求2所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，四個所述驅動機構的布置方向均相互平行，平行方向為第一方向，并在同一方向上的同一邊側驅動機構布置在同一直線上；

所述驅動機構的布置方向為驅動機構彈性梁的布置方向。

4.根據權利要求3所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述檢測機構均布置在第二方向上，并所有所述檢測機構之間相互平行布置，所述第一方向與所述第二方向相互垂直，所述第二方向上同一邊側的檢測機構布置在同一直線上；

所述檢測機構的布置方向為檢測機構彈性梁的布置方向。

5.根據權利要求4所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述檢測機構布置在所述檢測質量塊在第一方向上的兩端；

同時所述四個所述驅動機構與所述四個所述檢測機構位置相鄰并相對。

6.根據權利要求5所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述動光柵設置在檢測質量塊中心處；

所述動光柵包括多個動光柵柵線，任意一個動光柵柵線布置方向與第二方向平行，多個所述動光柵柵線中心點處于平行第一方向的直線上。

7.根據權利要求6所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述驅動磁體與在第一方向上的一邊側驅動機構位置相對；

所述檢測磁體與第一方向上的另一邊側驅動機構位置相對。

8.根據權利要求1所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述驅動機構及檢測機構均為回折梁結構；

包括兩個彈性梁及兩個聯接塊，其中一個聯接塊一端連接在另一個連接塊中部，并該另一連接塊兩端分別連接與第一個連接塊同一方向上的兩個所述彈性梁。

9.根據權利要求7所述的基于莫爾條紋檢測的自解耦微陀螺裝置，其特征在于，所述定光柵包括定光柵柵線，所述定光柵柵線的布置方向與所述動光柵的布置方向，在同一水平面上具有角度。