[實用新型]LED光源和光刻機有效
| 申請號： | 201721110314.2 | 申請日： | 2017-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN207096678U | 公開（公告）日： | 2018-03-13 |
| 發明（設計）人： | 錢俊 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | led 光源 光刻 | ||
1.一種LED光源，其特征在于，包括：LED基板、設置在所述LED基板上的LED芯片陣列、與所述LED芯片陣列對應的準直TIR元件陣列以及與所述準直TIR元件陣列對應的能量出射窗口，所述LED芯片陣列發出的若干束光經所述準直TIR元件陣列準直、偏轉后入射到所述能量出射窗口。
2.如權利要求1所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片陣列包括若干LED芯片，所述準直TIR元件陣列包括若干準直TIR元件，所述準直TIR元件與所述LED芯片一一對應，對LED芯片發出的光束進行準直、偏轉。
3.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片陣列中的各LED芯片，位于相同平面或不同平面或者部分位于相同平面部分位于不同平面。
4.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述準直TIR元件陣列中的各準直TIR元件的偏轉角度與對應的LED芯片的偏轉角度相同。
5.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片以朗伯型角分布向外輻射能量。
6.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述準直TIR元件采用紫外透光材料制成。
7.如權利要求6所述的LED光源，其特征在于，所述紫外透光材料包括融石英材料。
8.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述準直TIR元件包括：準直光學部分和與所述準直光學部分一體式成型的柱形延展部分，準直光學部分對LED芯片發出的光束進行準直，柱形延展部分對所述光束進行偏轉。
9.如權利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述準直光學部分的端部開設有沉孔，所述LED芯片設置在所述沉孔的開口處。
10.如權利要求9所述的LED光源，其特征在于，所述準直光學部分的側面為自由曲面，所述沉孔底面為類球形凸起，所述自由曲面與類球形凸起配合實現對所述光束的準直。
11.如權利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述柱形延展部分的端面為一傾斜平面，使LED芯片發出的光線偏轉一定角度以到達能量出射窗口。
12.如權利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述柱形延展部分的長度Lo＝R/[tan(arc sin(1/N))]，其中，R為準直TIR元件的口徑，N為準直TIR元件的折射率。
13.如權利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述能量出射窗口的尺寸等于準直TIR元件的口徑。
14.如權利要求1所述的LED光源，其特征在于，所述LED基板還與一控制器連接。
15.一種光刻機，包括照明單元，其特征在于，所述照明單元采用如權利要求1～14任意一項所述的LED光源。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備（集團）股份有限公司，未經上海微電子裝備（集團）股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721110314.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種絲網印刷機用的絲網版曬版裝置
- 下一篇：一種曝光機光源光學模組
