[實用新型]一種硅片放置盒

有效

• 申請號: 201721106859.6
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN207367938U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 崔永強;王文丹;鄧銘
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

1.一種硅片放置盒，其特征在于：包括內盒和外盒，內盒放置在外盒中，內盒的底部和外盒的底部通過可拆卸連接或者固定連接安裝在一起，內盒中放置硅片，內盒由內盒底板、內盒后板、內盒側板三塊板組成，內盒后板和內盒側板上有多個前后聯通的小孔，外盒由外盒底板、外盒前后左右四塊側板組成，外盒前后左右四塊側板都為雙層，外盒前后左右四塊側板上部有上噴氣口下部有下噴氣口。

2.根據權利要求1所述的一種硅片放置盒，其特征在于：外盒的底部內部有與內盒底板大小相同的凹槽，凹槽的深度等于內盒底板厚度，內盒底板放置在凹槽中。

3.根據權利要求1所述的一種硅片放置盒，其特征在于：外盒前后左右四塊側板都為雙層，雙層中間中空并且連接到上噴氣口和下噴氣口，外盒前后左右四塊側板外側有氣泵接口。