[實用新型]微機電的流體控制裝置

有效

• 申請號: 201721106603.5
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN210738778U
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 莫皓然;薛達偉;張英倫;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;韓永隆;黃啟峰
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B49/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種微機電的流體控制裝置，其由至少兩個導流單元所構成，該導流單元包含：

一入口板，具有至少一入口孔；

一基材；

一共振膜，為面型微加工技術制成的懸浮結構，具有一中空孔洞及多個可動部，且該共振膜與該入口板之間具有一匯流腔室；

一致動膜，為面型微加工技術制成的中空懸浮結構，具有一個懸浮部及一外框部及至少一空隙；

一壓電膜，貼附于該致動膜的該懸浮部的一表面；以及

一出口板，具有一出口孔；

其中，該入口板、該基材、該共振膜、該致動膜及該出口板依序對應堆疊設置，該導流單元的該共振膜及該致動膜之間具有一間隙形成一第一腔室，該致動膜及該出口板之間形成一第二腔室，當該導流單元的該壓電膜驅動該致動膜時，流體由該入口板的該入口孔進入該匯流腔室，并流經該共振膜的該中空孔洞，以進入該第一腔室內，并由該至少一空隙導入該第二腔室內，最后由該出口板的該出口孔導出，借此以控制流體的流通。

2.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該致動膜為一金屬材料薄膜或一多晶硅薄膜。

3.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該壓電膜為一以溶膠凝膠法制成的金屬氧化物薄膜。

4.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該微機電的流體控制裝置為微機電系統制程所制成的一體成型的結構。

5.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該壓電膜更具有一正極及一負極，用以驅動該壓電膜致動。

6.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該多個導流單元的數量為40個，且以20個為一行，兩行對應并排設置。

7.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該多個導流單元的數量為80個，且以20個為一行，四行對應并排設置。

8.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該多個導流單元以環狀方式排列設置。

9.如權利要求1所述的微機電的流體控制裝置，其特征在于，該多個導流單元以蜂巢狀方式排列設置。