[實用新型]一種供氣嘴檢測裝置

有效

• 申請號: 201721104815.X
• 申請日: 2017-08-30
• 公開（公告）號: CN207114169U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 向東;吳昌兵;張大勇;謝騏宇;鄧成承;汪從列;胡鴻相
• 申請（專利權）人: 華能重慶兩江燃機發電有限責任公司
• 主分類號: G01M13/00
• 分類號: G01M13/00
• 代理公司: 重慶眾人行專利代理事務所(普通合伙)50226
• 代理人: 高建華

技術領域

本實用新型涉及檢測裝置技術領域，具體為一種供氣嘴檢測裝置。

背景技術

在低溫多晶硅工藝中，出于改善TFT(薄膜晶體管)閾值電壓及其他電學特性考慮，離子注入發揮著非常重要的作用。在高真空高電壓環境中對特氣供氣嘴的性能也提出了嚴格的要求。因此，供氣嘴在使用前需要進行嚴格的檢測，合格后才能夠使用。

相關技術中，一般檢測是通過人工按照操作流程手持供氣嘴，并用氣槍對著供氣嘴噴氣來以此確認是否通氣。但這種檢測方式操作繁瑣，并且檢測誤差較大，還有只能一個一個檢查，工作效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種供氣嘴檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的檢測方式操作繁瑣，并且檢測誤差較大，還有只能一個一個檢查，工作效率低的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種供氣嘴檢測裝置，包括箱體、檢測流量計和活動把手，所述箱體通過活動連接片與箱蓋相連接，所述述箱體上表面設有供氣嘴固定槽，所述供氣嘴固定槽里面安裝有供氣嘴，且供氣嘴固定槽下方設置有鎖扣，所述箱體前端安裝有供氣流量計，且箱體右側面設有供氣調節閥，所述供氣調節閥右側設置有供氣口，所述箱體內部設有供氣管路，所述供氣管路通過供氣嘴測試管路與供氣嘴固定槽相連接，所述供氣嘴測試管路通過供氣流量計連接管路與供氣流量計相連接，所述箱蓋前端設置有鎖頭，所述檢測流量計通過檢測管路與箱蓋下表面的密封孔相連接，所述活動把手通過卡扣與箱蓋上表面相連接。

優選的，所述箱蓋上表面設置有活動把手，且箱蓋和箱體分別設置有鎖頭和鎖扣。

優選的，所述密封孔與供氣嘴固定槽的連接部分設置有密封圈。

優選的，所述供氣調節閥內部與供氣口相連接。

優選的，所述供氣嘴固定槽均勻分布，且供氣嘴固定槽均與供氣管路相連接。

優選的，所述供氣嘴固定槽上設置有與供氣嘴的底部螺紋連接的螺紋通孔。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該供氣嘴檢測裝置設置有檢測流量計、供氣流量計和供氣調節閥，且檢查是箱體為密封狀態，可以一鍵完成檢測，操作簡單，且誤差較小，該設備設有多個供氣嘴固定槽，可以同時檢測多個供氣嘴，提升工作效率。該散熱器設置有活動把手，且箱蓋和箱體分別設置有鎖頭和鎖扣，這使得該設備便于搬運，可以移動作業，該設備密封孔與供氣嘴固定槽的連接部分設有密封圈，這使得機器在檢測時處于密封狀態，減小了操作的誤差，該設備設有供氣調節閥，可以自由調節進氣大小，減小檢測誤差，加強安全度，該設備設置有多個供氣嘴固定槽，這使得機器可以同時檢測多個供氣嘴，提高了工作效率，該設備供氣嘴固定槽上設置有與供氣嘴的底部螺紋連接的螺紋通孔，這使得供氣嘴與供氣嘴固定槽連接更緊密，使檢測結果更準確。

附圖說明

圖1為本實用新型供氣嘴檢測裝置結構示意圖；

圖2為本實用新型內部結構示意圖；

圖3為本實用新型側視結構示意圖。

圖中：1、箱蓋，2、密封孔，3、供氣嘴，4、供氣流量計，5、鎖扣，6、供氣調節閥，7、供氣口，8、箱體，9、鎖頭，10、供氣嘴固定槽，11、供氣嘴測試管路，12、供氣流量計連接管路，13、供氣管路，14、檢測管路，15、檢測流量計，16、活動把手。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。