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[實用新型]一種用于精密儀器的防微振基座有效

專利信息
申請號: 201721103915.0 申請日: 2017-08-31
公開(公告)號: CN207334101U 公開(公告)日: 2018-05-08
發明(設計)人: 何成偉 申請(專利權)人: 協偉集成電路設備(上海)有限公司
主分類號: F16M5/00 分類號: F16M5/00;F16M7/00
代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 代理人: 何葆芳
地址: 201614 上海*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 精密儀器 防微振 基座
【說明書】:

本實用新型公開了一種用于精密儀器的防微振基座,其包括基座本體和若干用于與精密儀器固定連接的鋼鐵配件,所述基座本體是由鋼板框體與鋼筋結構和混凝土構成,若干鋼鐵配件均嵌設在基座本體的頂面上,所述基座本體內設有數個空腔,所述空腔的開口位于基座本體的底部;其特征在于:所述鋼鐵配件同時與所述鋼筋結構在豎直方向上固定連接。本實用新型所述的用于精密儀器的防微振基座,可有效避免縱向微振載荷對基座產生的損壞影響,縱向抗微振載荷性能強,可滿足精密儀器的高精度技術規范要求。

技術領域

本實用新型是涉及一種防微振基座,具體是涉及一種用于精密儀器的防微振基座,屬于精密儀器基礎座技術領域。

背景技術

基座作為精密儀器的支撐基礎和安裝平臺,通過設有鋼鐵配件與精密儀器固定連接,其穩固性和尺寸精度直接影響儀器的工作精度,對投入生產后的產品質量、生產安全都有很大的影響,特別是在半導體和光電等對所用儀器的精密度要求極高行業中。傳統基座上的用于與機密儀器連接的鋼鐵配件是直接嵌設于混凝土中,僅通過混凝土的凝固作用來實現連接固定,而儀器在實際運行中會產生微振動,因鋼鐵配件與混凝土的凝固連接作用有限,以致儀器在長時間運行或微振動幅度突然增大時,基座縱向抗微振載荷性能不足,易產生裂痕等現象,致使基座上方的精密儀器的工作環境被破壞,進而導致產品破壞或者產品質量合格率低,造成巨大經濟損失;而且,在混凝土灌注過程中,鋼鐵配件易發生水平方向上的偏移和豎直方向上的浮動,其精準位置不易控制,與預期結果存在偏差,導致設備安裝時基座的鋼鐵配件位置不能滿足精密儀器的高精度技術規范要求;因此,開發一種結構簡單、便于制作、鋼鐵配件定位精準的用于精密儀器的防微振基座,是本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

針對現有技術存在的上述問題和需求,本實用新型的目的是提供一種結構簡單、便于制作、鋼鐵配件定位精準的用于精密儀器的防微振基座,以滿足精密儀器克服縱向微振載荷的要求。

為實現上述目的,本實用新型采用的技術方案如下:

一種用于精密儀器的防微振基座,包括基座本體和若干用于與精密儀器固定連接的鋼鐵配件,所述基座本體是由鋼板框體與鋼筋結構和混凝土構成,若干鋼鐵配件均嵌設在基座本體的頂面上,所述基座本體內設有數個空腔,所述空腔的開口位于基座本體的底部;其特征在于:所述鋼鐵配件同時與所述鋼筋結構在豎直方向上固定連接。

一種實施方式,所述鋼鐵配件通過縱向加強筋與所述鋼筋結構在豎直方向上固定連接。

進一步實施方式,所述鋼鐵配件與縱向加強筋及縱向加強筋與所述鋼筋結構之間均為焊接固定。

一種實施方式,所述鋼筋結構呈網狀,包括側面鋼筋網和頂面鋼筋網,所述鋼鐵配件與頂面鋼筋網在豎直方向上固定連接。

一種實施方式,所述鋼鐵配件在基座本體制作前先與基座制作平臺固定連接。

進一步實施方式,在所述基座制作平臺上設有與所述鋼鐵配件相配合的凹槽,所述鋼鐵配件嵌設在所述凹槽內。

進一步實施方式,所述鋼鐵配件與基座制作平臺之間通過全螺紋螺栓鎖緊固定。

作為優選方案,所述空腔的截面呈等腰梯形結構。

相對于現有技術,本實用新型具有如下有益效果:

本實用新型所述的用于精密儀器的防微振基座,通過使鋼鐵配件同時與所述鋼筋結構在豎直方向上固定連接,可有效避免縱向微振載荷對基座產生的損壞影響,使得所述基座的縱向抗微振載荷性能強,可保證固定在基座上方的精密儀器的高精密工作環境;另外,使所述鋼鐵配件在基座本體制作前先與基座制作平臺固定連接,可保證鋼鐵配件在混凝土灌注過程中不會發生位置偏移,可保證鋼鐵配件定位精準,從而可滿足精密儀器的高精度技術規范要求;因此,本實用新型相對于現有技術具有顯著性進步。

附圖說明

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