[實用新型]一種真空電子器件真空除氣設備

有效

• 申請號: 201721103139.4
• 申請日: 2017-08-30
• 公開（公告）號: CN207250450U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 劉春華;蔡小華
• 申請（專利權）人: 江西景光電子有限公司
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385;H01J9/39
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及真空電子器件領域，具體是一種真空電子器件真空除氣設備。

背景技術

真空電子器件指借助電子在真空或者氣體中與電磁場發生相互作用，將一種形式電磁能量轉換為另一種形式電磁能量的器件。具有真空密封管殼和若干電極，管內抽成真空，殘余氣體壓力為10-4～10-8帕。有些在抽出管內氣體后，再充入所需成分和壓強的氣體。廣泛用于廣播、通信、電視、雷達、導航、自動控制、電子對抗、計算機終端顯示、醫學診斷治療等領域。

在電子管的生產過程中，傳統真空電子管排氣臺結構復雜，耗能高，操作繁瑣，排氣的效率不高，生產耗費的時間長。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種真空電子器件真空除氣設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種真空電子器件真空除氣設備，包括支撐架和機械泵；所述支撐架上方設有電子管，電子管底部連接有可伐，可伐與電子管連通；所述可伐連通有陶瓷管，陶瓷管底部連通有可伐；所述可伐底部通過管道與超高真空閥連通，超高真空閥連通有冷阱；所述冷阱連通有擴散泵，擴散泵連通有機械泵；所述電子管上方設有真空罩，真空罩內壁上固定連接有螺旋狀的加熱絲；所述真空罩下方設有真空密封槽；所述真空罩連通有波紋管，波紋管與冷阱連通，波紋管設有電磁氣閥；所述真空罩頂部固定連接有移動板，移動板滑動連接有支撐側板；所述移動板頂部鉸接有對稱的連接桿，連接桿鉸接有對稱的滑塊，滑塊滑動連接有橫板；所述對稱的滑塊螺紋連接有轉軸；所述轉軸通過軸承與支撐側板轉動連接，轉軸右側固定連接有驅動電機。

作為本實用新型進一步的方案：所述可伐與支撐架固定連接。

作為本實用新型進一步的方案：所述支撐側板與支撐架固定連接。

作為本實用新型進一步的方案：所述橫板與支撐側板固定連接。

作為本實用新型進一步的方案：所述轉軸左、右兩部分設有反向的螺紋。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型通過設有真空烘烤罩，對電子管進行高效的雙真空排氣，排氣效率更高，效果更好，同時使用真空烘干的方式，減少熱量散失，節約能源。

附圖說明

圖1為真空電子器件真空除氣設備的剖視圖；

圖2為真空電子器件真空除氣設備中可伐的連接示意圖。

圖中：1-支撐架；2-電子管；3-可伐；4-陶瓷管；5-超高真空閥；6-冷阱；7-擴散泵；8-機械泵；9-真空罩；10-加熱絲；11-波紋管；12-電磁氣閥；13-移動板；14-連接桿；15-滑塊；16-橫板；17-轉軸；18-驅動電機；19-支撐側板。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1～2，本實用新型實施例中，一種真空電子器件真空除氣設備，包括支撐架1和機械泵8；所述支撐架1上方設有電子管2，電子管2底部連接有可伐3，可伐3對電子管3進行固定，可伐3與電子管2連通；所述可伐3連通有陶瓷管4，陶瓷管4底部連通有可伐3，可伐3與支撐架1固定連接有；所述可伐3底部通過管道與超高真空閥5連通，超高真空閥5連通有冷阱6；所述冷阱6連通有擴散泵7，擴散泵7與支撐架1固定連接；所述擴散泵7連通有機械泵8，機械泵8與支撐架1固定連接；機械泵8和擴散泵7配合進行抽真空；所述電子管2上方設有真空罩9，真空罩9內壁上固定連接有螺旋狀的加熱絲10，加熱絲10與外部電源電性連接，加熱絲10對電子管2進行烘干除氣；所述真空罩9下方設有真空密封槽20，真空密封槽20與支撐架1固定連接；所述真空罩9連通有波紋管11，波紋管11與冷阱6連通，波紋管11設有電磁氣閥12；所述真空罩9頂部固定連接有移動板13，移動板13滑動連接有支撐側板19，支撐側板19與支撐架1固定連接；所述移動板13頂部鉸接有對稱的連接桿14，連接桿14鉸接有對稱的滑塊15，滑塊15滑動連接有橫板16，橫板16與支撐側板19固定連接；所述對稱的滑塊15螺紋連接有轉軸17，轉軸17左、右兩部分設 有反向的螺紋；所述轉軸17通過軸承與支撐側板19轉動連接，轉軸17右側固定連接有驅動電機18，驅動電機18與外部電源電性連接。