[實(shí)用新型]一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721102259.2
• 申請(qǐng)日: 2017-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN207336379U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季禮明;張振志;李國(guó)平;韋大勇;陳海兵;張萬(wàn)林;桂賢軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西東海藍(lán)玉光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/87
• 分類號(hào): G01N21/87;G01N21/88
• 代理公司: 南昌恒橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 36125
• 代理人: 楊志宇

本實(shí)用新型公開了一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)。其中：述的凹形基座的上端面上開設(shè)有一個(gè)凹槽；所述的凹槽的截面呈等腰梯形；所述的凹槽底部的兩個(gè)內(nèi)角均為60度，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于操作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石應(yīng)用材料的加工檢測(cè)領(lǐng)域，特別是涉及一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石(Sapphire)是一種氧化鋁才(α-Al2O3)的單晶，又稱為剛玉。藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強(qiáng)度高、硬度大、耐沖刷，可在接近2000℃高溫的惡劣條件下工作，因而被廣泛的應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料。

目前主流的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶方法包括：泡生法、導(dǎo)模法、熱交換法、提法法、坩堝下降法、水平區(qū)熔法等；其中導(dǎo)模法具有生長(zhǎng)時(shí)間短、耗電量低、可定向/定形生長(zhǎng)、晶體加工簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，可以預(yù)測(cè)導(dǎo)模法將逐漸取代泡生法成為藍(lán)寶石晶體主流生長(zhǎng)方式。目前，只有俄羅斯、美國(guó)和日本等少數(shù)國(guó)家掌握此技術(shù)，同時(shí)國(guó)外進(jìn)口裝備存在產(chǎn)品一致性差、人工依賴性高、交貨周期長(zhǎng)、價(jià)格昂貴等問題，因此制造擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的導(dǎo)模法長(zhǎng)晶檢測(cè)裝備及長(zhǎng)晶技術(shù)刻不容緩。

我國(guó)對(duì)藍(lán)寶石晶體導(dǎo)模法生長(zhǎng)裝備和長(zhǎng)晶工藝的研究起步較晚，國(guó)內(nèi)目前尚沒有成熟的多片導(dǎo)模法長(zhǎng)晶設(shè)備及長(zhǎng)晶工藝，導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片配套專用加工檢測(cè)設(shè)備存在空白；在產(chǎn)品方面，在藍(lán)寶石LED襯底片、手機(jī)屏、國(guó)防用導(dǎo)彈整流罩以及航空航天用大尺寸藍(lán)寶石面板長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，因此我們研發(fā)藍(lán)寶石導(dǎo)模法長(zhǎng)晶檢測(cè)裝備及多片長(zhǎng)晶工藝刻不容緩，也是填補(bǔ)國(guó)內(nèi)行業(yè)空白。

由于藍(lán)寶石的超高硬度，其成品加工成本高、耗時(shí)長(zhǎng)，加工難度大，加工成本已經(jīng)成為影響藍(lán)寶石相關(guān)產(chǎn)品市場(chǎng)應(yīng)用的主要因素之一；鑒于此種情況，選擇合適的加工工藝，合適的設(shè)備及夾治具，對(duì)于提高藍(lán)寶石晶片加工成品率、降低加工成本具有重要意義。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的任務(wù)是提供一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)，使得達(dá)到實(shí)現(xiàn)高效率和高準(zhǔn)確率的選料的目的。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)，包括：凹形基座、凹槽、LED燈帶、待檢區(qū)平臺(tái)；其中：所述的凹形基座的上端面上開設(shè)有一個(gè)凹槽；所述的凹槽的截面呈等腰梯形；所述的凹槽底部的兩個(gè)內(nèi)角均為60度；所述的凹槽兩側(cè)的內(nèi)壁斜邊上分別固定的安裝有一條LED燈帶；所述的凹槽的底部放置有一塊待檢區(qū)平臺(tái)；所述的待檢區(qū)平臺(tái)為黑色絨布包裹的條形玻璃。

一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)，其中：所述的兩條LED燈帶均內(nèi)嵌在凹槽兩側(cè)的內(nèi)壁斜邊上。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過設(shè)置凹槽與led燈帶能夠方便清晰地觀察晶片內(nèi)部的缺陷（氣泡、多晶、云霧、生長(zhǎng)紋等）種類及分布，實(shí)現(xiàn)高效率和高準(zhǔn)確率的選料，避免含有缺陷的晶片流入下游加工階段，造成不必要的加工成本浪費(fèi)，提高產(chǎn)品加工效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖說明：凹形基座1、凹槽2、LED燈帶3、待檢區(qū)平臺(tái)4。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、 一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)，包括：凹形基座1、凹槽2、LED燈帶3、待檢區(qū)平臺(tái)4；其中：所述的凹形基座1的上端面上開設(shè)有一個(gè)凹槽2；所述的凹槽2的截面呈等腰梯形；所述的凹槽2底部的兩個(gè)內(nèi)角均為60度；所述的凹槽2兩側(cè)的內(nèi)壁斜邊上分別固定的安裝有一條LED燈帶3；所述的凹槽2的底部放置有一塊待檢區(qū)平臺(tái)4；所述的待檢區(qū)平臺(tái)4為黑色絨布包裹的條形玻璃。

實(shí)施例2、 一種導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶片檢驗(yàn)平臺(tái)，其中：所述的兩條LED燈帶3均內(nèi)嵌在凹槽2兩側(cè)的內(nèi)壁斜邊上。其余同實(shí)施例1。

工作原理：將待檢測(cè)物料放入凹槽2內(nèi)的待檢區(qū)平臺(tái)4上；開啟兩條LED燈帶3，通過斜射光線實(shí)現(xiàn)晶體的檢測(cè)；設(shè)置的待檢區(qū)平臺(tái)4可以是條形玻璃或者鋼板；設(shè)置的黑色絨布提供晶片檢測(cè)所需的黑色消光背底，同時(shí)防止了材料磕碰；在所述凹形基座1的外表面還包有鋁合金，保持凹形基座1外表面的整潔，防止待檢測(cè)物料被弄臟，影響觀測(cè)，同時(shí)設(shè)置的待檢區(qū)平臺(tái)4的底面與凹槽2的底面之間安裝有壓力傳感器，用過顯示裝置觀測(cè)壓力傳感器的壓力數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)同步檢測(cè)待檢物料的質(zhì)量大小。