[實用新型]基于光學吸收和干涉法檢測氣體濃度的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721070447.1
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN207096089U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發(fā)明（設計）人: 張忠民;吳壯壯;徐立佳
• 申請（專利權）人: 青島眾瑞智能儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31;G01N21/45
• 代理公司: 青島致嘉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙)37236
• 代理人: 張曉艷

1.一種基于光學吸收和干涉法檢測氣體濃度的裝置，其特征在于：包括光發(fā)射器、分光鏡、參比氣室、樣氣氣室、全反鏡及光電檢測器，所述光發(fā)射器發(fā)射入射光與分光鏡呈45°，經(jīng)分光后分為反射光和透射光，兩束光分別照射參比氣室和樣氣氣室后，經(jīng)設置在氣室后的反光鏡反射回分光鏡，合束后同方向射出的兩束光產(chǎn)生干涉，光電檢測器檢測零級條紋處光線強度。

2.根據(jù)權利要求1所述的基于光學吸收和干涉法檢測氣體濃度的裝置，其特征在于：所述分光鏡光入射面設置有半反半透膜，所述反射光光路上設置有補償鏡。

3.根據(jù)權利要求2所述的基于光學吸收和干涉法檢測氣體濃度的裝置，其特征在于：所述光發(fā)射器發(fā)射的光為紅外光、可見光或紫外光。

4.根據(jù)權利要求3所述的基于光學吸收和干涉法檢測氣體濃度的裝置，其特征在于：所述光電檢測器為光譜儀，檢測不同波長的光強度。