[實用新型]連續固晶裝置

有效

• 申請號: 201721069332.0
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN207068816U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 向軍
• 申請（專利權）人: 江蘇新智達新能源設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/56;H01L29/861
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種連續固晶裝置，其特征在于，包括工作臺（1），所述工作臺（1）上設置有：

固晶工位，所述固晶工位的數量至少為二個，每個所述固晶工位用于將晶元放置在料片的不同固晶點處；

轉移工位，若干個所述轉移工位依次設置在相鄰兩個所述固晶工位之間，用于將料片由前一所述固晶工位取放至后一所述固晶工位。

2.如權利要求1所述的連續固晶裝置，其特征在于：所述固晶工位包括用于安裝藍膜的安裝盤箍（2）、用于放置料片的置料臺（3）和用于取晶固晶的甩臂（4），所述甩臂（4）上設置有取晶吸嘴（5），所述取晶吸嘴（5）在安裝盤箍（2）和置料臺（3）的上方來回運動。

3.如權利要求2所述的連續固晶裝置，其特征在于：所述固晶工位還包括橫向絲桿（6）、驅動所述橫向絲桿（6）轉動的橫向電機（8）、安裝在所述橫向絲桿（6）上的橫向滑臺（7）、安裝在所述橫向滑臺（7）上的豎向絲桿（9）、驅動所述豎向絲桿（9）轉動的豎向電機（11）和安裝在所述豎向絲桿（9）上的豎向滑臺（10），所述置料臺（3）安裝在所述豎向滑臺（10）上；所述固晶工位的數量為二個，二個所述固晶工位水平依次設置在所述工作臺（1）上，二個所述橫向絲桿（6）沿橫向平行設置。

4.如權利要求3所述的連續固晶裝置，其特征在于：所述轉移工位包括導軌（12）、滑塊（14）和直線氣缸（13）；所述導軌（12）沿橫向水平設置，其一端設置在前一所述固晶工位的置料臺（3）上方，另一端設置在后一所述固晶工位的置料臺（3）上方；所述滑塊（14）滑動安裝在所述導軌（12）上并且在所述直線氣缸（13）的驅動下可沿導軌（12）移動；所述滑塊（14）上安裝有支架（15），所述支架（15）上設置有用于吸附料片的真空吸嘴。

5.如權利要求4所述的連續固晶裝置，其特征在于：所述滑塊（14）上還設置有氣動滑臺，所述氣動滑臺上包括沿直線移動的活動臺，所述活動臺的移動方向沿縱向設置，所述支架（15）和所述活動臺固定連接。