[實用新型]一種波紋管及有機電致發光器加工設備

有效

• 申請號: 201721062994.5
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207333981U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 關立偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: F16L9/06
• 分類號: F16L9/06;F16L55/07
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

本實用新型涉及顯示器生產設備領域，公開了一種波紋管及有機電致發光器加工設備，該波紋管中包括：內層管體和直徑大于內層管體直徑的外層管體，其中，外層管體套設在內層管體外側，外層管體與內層管體間形成封閉的管壁腔，管壁腔內填充有緩沖介質。上述波紋管中，通過設置外層管體和內層管體，且在管壁腔中填充緩沖介質，實現了真空壓、填充介質壓力和水壓的逐級遞減，從而實現了波紋管中由外層管體至內層管體受力的梯級減小，降低了波紋管損壞的幾率，避免了因波紋管損壞漏水造成的真空度下降的現象發生，也避免了設備宕機的現象發生，提高了波紋管的使用壽命，節省了設備的使用成本。

技術領域

本實用新型涉及顯示器生產設備領域，特別涉及一種波紋管及有機電致發光器加工設備。

背景技術

精細金屬掩膜模式，是通過蒸鍍方式將有機電致發光顯示材料按照預定程序蒸鍍到低溫多晶硅背板上，利用高精度金屬掩模板上的圖形，形成紅綠藍器件。蒸鍍是在真空腔體中進行，蒸發源、玻璃加載和遮罩加載的對位機構，都需要波紋管，以確保運動部件間冷凝水的連通，但波紋管波紋段長期運動易損壞，波紋管損壞主要由于波紋管內冷卻水系統有一定的水壓，波紋管處于真空中受一定的真空壓力，水壓與真空壓的壓力方向相同，即波紋管受到的力為水壓與真空壓的數值總和，使得波紋管因承受壓力過大而損壞漏水，導致工作環境真空度下降，甚至引起設備宕機現象的發生。

實用新型內容

本實用新型提供了一種波紋管及有機電致發光器加工設備，該波紋管中，采用雙層管體，并在管壁腔中填充緩沖介質，減小波紋管管壁承受的壓力值，解決了波紋管因承受壓力過大而損壞漏水，導致工作環境真空度下降，甚至引起設備宕機的問題。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種波紋管，包括：內層管體和直徑大于所述內層管體直徑的外層管體，其中，

所述外層管體套設在所述內層管體外側，所述外層管體與所述內層管體間形成封閉的管壁腔，所述管壁腔內填充有緩沖介質。

上述波紋管中，外層管體與內層管體間形成封閉的管壁腔，在管壁腔中填充有緩沖介質，當波紋管處于真空環境中工作時，緩沖介質對內層管體的壓力值小于水壓的大小，內層管體受到的力為水壓與緩沖介質對內層管體的壓力的合力，二者方向相反，即內層管體所受的合力值小于水壓的大小，外層管體受到的壓力為緩沖介質對外層管體的壓力和真空壓力的合力，緩沖介質對外層管體的壓力與真空壓力方向相同，則外層管體所受壓力值為緩沖介質對外層管體的壓力值與真空壓力值的和，由于緩沖介質對外層管體的壓力值小于水壓的壓力值，則內層管體與外層管體所受的壓力均小于現有技術中單層波紋管管壁所受的壓力，且外層管體所受壓力大于內層管體所受壓力，即通過設置外層管體和內層管體，且在管壁腔中填充緩沖介質，實現了真空壓、填充介質壓力和水壓的逐級遞減，從而實現了波紋管中由外層管體至內層管體受力的梯級減小，降低了波紋管損壞的幾率，避免了因波紋管損壞漏水造成的真空度下降的現象發生，也避免了設備宕機的現象發生，提高了波紋管的使用壽命，節省了設備的使用成本；

另外，波紋管包括內層管體和外層管體，當內層管體發生損壞時，波紋管中的冷卻水流入管壁腔中，由于管壁腔封閉，可有效防止冷卻水泄露。

因此，波紋管采用內層管體和外層管體，實現了波紋管受力的梯級減小，降低了波紋管損壞的幾率，防止了冷卻水的泄露，避免了因波紋管損壞漏水造成的真空度下降的現象發生，也避免了設備宕機的現象發生，提高了波紋管的使用壽命，節省了設備的使用成本。

優選地，所述緩沖介質為惰性氣體。

優選地，所述惰性氣體為氮氣。

優選地，所述緩沖介質為真空脂。