[實用新型]一種高精度壓差傳感器

有效

• 申請號: 201721057419.6
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207180935U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 魯月林;崔后虎;魯業華
• 申請（專利權）人: 銅陵艾科特電子科技有限公司
• 主分類號: G01L13/06
• 分類號: G01L13/06
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙)11548
• 代理人: 李靜

技術領域

本實用新型涉及一種高精度壓差傳感器，屬于壓差傳感器技術領域。

背景技術

壓差傳感器是一種用來測量兩個壓力之間差值的傳感器，通常用于測量某一設備或部件前后兩端的壓差。壓差傳感器的工作原理是被測壓力直接作用于傳感器的膜片上，使膜片產生與水壓成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個相對應壓力的標準測量信號。但是，目前的這種電阻式壓差傳感器的精度較低，難以實現高精度的壓差測量。

發明內容

本實用新型針對現有的技術問題，提供一種高精度壓差傳感器，目的是提高壓差傳感器的測量精度，擬解決現有技術存在的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高精度壓差傳感器，其包括下殼座、上殼座、正壓腔座、負壓腔座、隔離片、正壓感應片、中間固定片和負壓感應片，所述下殼座、上殼座、正壓腔座、負壓腔座組成該傳感器殼體，所述正壓腔座的正壓通道孔和負壓腔座的負壓通道孔的外側均設置有隔離片，所述下殼座和上殼座之間設置有與正壓通道孔垂直的所述正壓感應片和負壓感應片，所述正壓感應片和負壓感應片之間的中間位置設置有中間固定片，所述正壓感應片與所述中間固定片構設成正極電容，所述負壓感應片與所述中間固定片之間構設為負極電容，其特征在于，所述正壓腔座的內側和負壓腔的內側均設置有相互獨立的油腔，所述正壓腔座的正壓通道孔和負壓腔座的負壓通道孔均與各自的油腔連通，所述油腔的體積大小為正壓通道孔總容積大小的3-5倍，所述正壓通道孔總容積大小和負壓腔座的負壓通道孔的總容積大小相等。

進一步，作為優選，所述上殼座的內壁上固定設置有導線座，所述導線座上固定設置有感應導線，所述感應導線分別與正壓感應片、中間固定片和負壓感應片連接。

進一步，作為優選，所述上殼座上設置有接頭保護殼，所述感應導線設置在接頭保護殼內。

進一步，作為優選，所述下殼座與上殼座之間還設置有輔助安裝座和感應片固定座，所述感應片固定座設置在輔助安裝座內側，所述正壓感應片和負壓感應片分別設置在各自的感應片固定座上。

進一步，作為優選，所述下殼座和上殼座之間的最外側還設置有硅油腔座，所述油腔為硅油腔。

進一步，作為優選，所述硅油腔座上還設置有填充座，所述硅油腔座采用所述填充座固定在正壓腔座或負壓腔座上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型結構簡單，組裝方便，其采用設置在傳感器內部的硅油實現對壓差的測量，并利用隔離片實現對硅油實施壓力，兩側的硅油在各自的壓力下，硅油移動，實現對正壓感應片和負壓感應片施加相應的壓力，各自的感應片與中間固定片構成電容，這樣，各自的感應片在各自的壓力下電容值發生變化，通過計算電容變化來實現壓差的測量，本實用新型可以實現高精度的壓差測量，而且，受外界環境較小，同時，硅油腔的設置可以保證硅油對壓力的敏感性，提高測量精度并降低外界干擾。

附圖說明

圖1是本實用新型的一種高精度壓差傳感器的結構示意圖；

其中，1、下殼座，2、上殼座，3、接頭保護殼，4、正壓腔座，5、負壓腔座，6、隔離片，7、油腔，8、輔助安裝座，9、感應片固定座，10、正壓感應片，11、中間固定片，12、負壓感應片，13、感應導線，14、導線座，15、硅油腔座，16、填充座。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。