[實用新型]抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統

有效

• 申請號: 201721057356.4
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207195318U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 呂培先;王冬根;袁冰;沈慧俊
• 申請（專利權）人: 浙江杭真能源科技股份有限公司
• 主分類號: F04F5/22
• 分類號: F04F5/22;F04F5/44
• 代理公司: 杭州天欣專利事務所(普通合伙)33209
• 代理人: 陳農

1.一種抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，包括蒸汽噴射真空泵、蒸汽輸送系統、冷卻水系統、排液管系統，蒸汽噴射真空泵抽氣口與被抽真空的設備連通，蒸汽輸送系統與蒸汽噴射真空泵蒸汽入口連通，冷卻水系統與蒸汽噴射真空泵的冷凝器連通，冷凝器底部排液口與排液系統連通，其特征是：蒸汽噴射真空泵中的蒸汽噴射泵殼體和連接管的內表面均采用搪瓷鍍層，蒸汽噴射泵噴嘴采用哈氏合金。

2.根據權利要求1所述抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，其特征是：所述的蒸汽噴射真空泵包括第一級蒸汽噴射泵、第二級蒸汽噴射泵、第三級蒸汽噴射泵、第四級蒸汽噴射泵、第一級冷凝器、第二級冷凝器、第三級冷凝器，第一級蒸汽噴射泵、第二級蒸汽噴射泵、第一級冷凝器、第三級蒸汽噴射泵、第二級冷凝器、第四級蒸汽噴射泵、第三級冷凝器依次連通。

3.根據權利要求1所述抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，其特征是：所述的蒸汽噴射真空泵的冷凝器采用圓塊孔式石墨冷凝器。

4.根據權利要求1所述抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，其特征是：所述排液系統包括排液管、液封池，排液管一端與蒸汽噴射真空泵中的冷凝器連接，排液管另一端位于液封池中液面之下。

5.根據權利要求1至4任一權利要求所述抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，其特征是：所述的蒸汽輸送系統包括蒸汽分配器、氣動開關閥、蒸汽管道，蒸汽分配器與動力蒸汽入口連通，蒸汽分配器通過蒸汽管道與蒸汽噴射真空泵蒸汽入口連通，蒸汽管道上設置有氣動開關閥。

6.根據權利要求1至4任一權利要求所述抽吸高腐蝕氣體的蒸汽噴射真空泵系統，其特征是：所述的冷卻水系統包括冷卻水分配器、冷卻水閥、冷卻水管道，冷卻水管道包括進水管道、回水管道，冷卻水分配器與冷卻水入口連通，冷卻水分配器通過進水管道與蒸汽噴射真空泵中的冷凝器進水口連通，蒸汽噴射真空泵中的冷凝器出水口通過回水管道與冷卻水排出管道連通，進水管道上設置有冷卻水閥。