[實(shí)用新型]一種硅片花籃防傾倒裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721047774.5
• 申請(qǐng)日: 2017-08-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207269019U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志剛;付振;余建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢帝爾激光科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11212
• 代理人: 陳薇

1.一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：包括兩個(gè)側(cè)板(2)，兩個(gè)所述側(cè)板(2)的上部之間設(shè)有多個(gè)防傾倒部(1)，所述防傾倒部(1)的兩端分別和兩個(gè)所述側(cè)板(2)的上部連接，兩個(gè)所述防傾倒部(1)和兩個(gè)所述側(cè)板(2)形成防傾倒通道。

2.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：多個(gè)所述防傾倒部(1)平行設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述防傾倒部(1)的兩端可旋轉(zhuǎn)的安裝于兩個(gè)所述側(cè)板(2)的上部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述防傾倒部(1)為圓柱形，所述防傾倒部(1)的兩端各設(shè)有一個(gè)端軸(6)，兩個(gè)所述端軸(6)的一端分別與所述防傾倒部(1)的兩端固定連接，兩個(gè)所述端軸(6)的另一端分別可旋轉(zhuǎn)的安裝于兩個(gè)所述側(cè)板(2)的上部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述防傾倒部(1)外設(shè)有緩沖層(4)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述防傾倒部(1)包括安裝軸(3)和可繞安裝軸(3)的軸向中心線旋轉(zhuǎn)的空心輥(5)，所述安裝軸(3)貫穿所述空心輥(5)的內(nèi)孔，所述安裝軸(3)的兩端固定安裝于所述側(cè)板(2)的上部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述空心輥(5)外設(shè)有緩沖層(4)或者空心輥(5)為彈性材質(zhì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：還包括控制器和報(bào)警器，所述防傾倒部(1)的底部設(shè)有接觸傳感器，所述接觸傳感器與所述控制器電連接，所述控制器與所述報(bào)警器電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種硅片花籃防傾倒裝置，其特征在于：所述側(cè)板(2)的底部設(shè)有安裝部(7)。