[實用新型]太陽電池擴散爐進氣裝置

有效

• 申請號: 201721045407.1
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN207052619U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 郭銀銀;符亮
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 王美華

技術領域

本實用新型涉及一種太陽電池擴散爐進氣裝置。

背景技術

目前光伏企業在進行電池片低壓擴散工藝時，其擴散源所用氣體，普遍采用在擴散爐的爐尾進氣，爐口抽氣的形式，氣體通過整個爐體時對爐內的電池片進行擴散處理，但這種傳統進氣形式，源氣體在爐內分布均勻性不好，造成電池片方阻波動較大，穩定性不足。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服現有技術中之不足，本實用新型提供一種能減少電池片方阻波動的太陽電池擴散爐進氣裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種太陽電池擴散爐進氣裝置，包括擴散爐體，所述的擴散爐體的爐口端使用石英爐門進行封閉，擴散爐體的爐尾端設有出氣管和進氣口，所述的出氣管管路連接負壓風機，從所述的進氣口向爐口端插入有通入對電池片進行擴散處理的源氣體的石英管。

為進一步提高擴散源氣體分布均勻性，所述的進氣口偏于擴散爐體軸向側邊設置，石英管外端伸出擴散爐體外。

本實用新型的有益效果是：本實用新型從爐尾端向爐口端插入石英管以通入擴散所用反應氣體，并由負壓風機在爐尾端抽氣，使得反應氣體自爐口端向爐尾端移動，并均勻充滿整個擴散爐體，從而有效地達到了改善電池片方阻均勻性的目的。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1.擴散爐體 2.爐口端 3.爐尾端 4.出氣管 5.進氣口 6.石英管

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種太陽電池擴散爐進氣裝置，包括擴散爐體1，所述的擴散爐體1的爐口端2采用石英爐門進行封閉，擴散爐體1的爐尾端3設有出氣管4和進氣口5，其中進氣口5偏于擴散爐體1軸向側邊設置，所述的出氣管4管路連接負壓風機，從所述的進氣口5向爐口端2插入有通入對電池片進行擴散處理的源氣體的石英管6，所述的石英管6外端伸出擴散爐體1外。

電池片進行低壓擴散工藝時，小氮攜帶三氯氧磷反應氣體經由一根長的石英管6延伸至爐口端2處進入擴散爐體1內，通過負壓風機在爐尾端3抽氣，使得反應氣體自爐口端2向爐尾端3移動，并均勻充滿整個擴散爐體1，從而有效地達到了改善方阻均勻性的目的。

以下為電池片采用常規進氣結構與本實用新型進氣結構進行擴散處理后的方阻均勻性測試結果對照表：

采用常規爐尾進氣，爐口出氣方式，方阻均勻性如下：

采用本發明的爐口進氣，爐尾出氣方式，未改變工藝參數的前提下，方阻均勻性如下：

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。