[實用新型]一種多尺寸硅片片盒懸掛器

有效

• 申請號: 201721032085.7
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN207233707U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 趙文龍;孟娟峰
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙)41120
• 代理人: 狄干強

1.一種多尺寸硅片片盒懸掛器，其特征在于：包括吊桿（1）和兩個卡頭（3），其中，吊桿（1）的上部設置有懸掛鉤（101），底部設置有掛板（2），掛板（2）上設置有若干組卡槽，每組卡槽由兩條貫穿掛板（2）厚度方向的切槽組成，所述兩個卡頭（3）為對稱結構，且每個卡頭（3）包括一基板和對稱設置在該基板兩側的兩條側板（303），兩條側板（303）之間設置有兩條隔板（302），且每條側板（303）與其相鄰的隔板（302）間形成條形槽（304），以使硅片片盒的U面通過該面兩側的卡條與兩條條形槽（304）配合卡在卡頭（3）上；卡頭（3）與掛板（2）上的切槽相配合以固定在掛板（2）上，掛板（2）上不同組卡槽的兩條切槽間距離不同，以使兩個卡頭（3）卡在同組卡槽的兩條切槽內時，兩個卡頭（3）間的間距對應不同尺寸硅片片盒的長度。

2.根據權利要求1所述的一種多尺寸硅片片盒懸掛器，其特征在于：所述掛板（2）的中部與吊桿（1）的底部固定連接，掛板（2）上設置的卡槽為三組，組成三組卡槽的六條切槽對稱分布在吊桿（1）的兩側，且從掛板（2）的側邊向中部方向，三組卡槽依次為六英寸片盒卡槽（201）、五英寸片盒卡槽（202）和四英寸片盒卡槽（203），以使兩個卡頭（3）分別卡在六英寸片盒卡槽（201）、五英寸片盒卡槽（202）或四英寸片盒卡槽（203）的兩條切槽內時，兩個卡頭（3）的間距分別對應六英寸硅片片盒、五英寸硅片片盒或四英寸硅片片盒的寬度。

3.根據權利要求1所述的一種多尺寸硅片片盒懸掛器，其特征在于：所述卡頭（3）的基板上設置有與掛板（2）上的切槽相配合的固定槽（301）或固定凸起，且固定槽（301）或固定凸起位于兩條隔板（302）之間。

4.根據權利要求1所述的一種多尺寸硅片片盒懸掛器，其特征在于：所述卡頭（3）上隔板（302）的高度大于側板（303）的高度，且隔板（302）和側板（303）的兩端均與基板的兩側邊平齊；兩條隔板（302）間的寬度與掛板（2）的厚度相同，以使卡頭（3）卡在掛板（2）上后，兩條隔板（302）分別貼合卡住掛板（2）的兩側面。