[實用新型]一種新型安全節(jié)能汽化器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721024692.9
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN207334240U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 劉芳軍
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州思普爾科技有限公司
• 主分類號: F17C7/04
• 分類號: F17C7/04
• 代理公司: 南京常青藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32286
• 代理人: 黃胡生

本實用新型提供一種新型安全節(jié)能汽化器，具體涉及半導體生產(chǎn)氣體供應系統(tǒng)技術領域，包括汽化瓶、進氣口、進液口、出氣口、多孔柱體和進氣管道，所述汽化瓶頂部設有所述進氣口、所述進液口和所述出氣口，所述進液口和所述出氣口位于所述進氣口的兩側(cè)，所述汽化瓶內(nèi)設有所述進氣管道，所述進氣管道上端與所述進氣口連通，所述進氣管道下端插入所述多孔柱體內(nèi)，所述進氣管道固定在所述汽化瓶內(nèi)。本實用新型具有安全性好，汽化效果好的優(yōu)點。

技術領域

本實用新型屬于半導體生產(chǎn)氣體供應系統(tǒng)技術領域，具體涉及一種新型安全節(jié)能汽化器。

背景技術

半導體生產(chǎn)中會使用到一些特種氣體與N2的混合氣體，特種氣體有NH3、HF、C2H6等，在氣體供應系統(tǒng)中會用到汽化器，當前市場上汽化器分為兩大類，加熱汽化器和裹挾式汽化器。加熱汽化器由于有加熱裝置，可能引起火災或爆炸，有安全隱患；裹挾式汽化器，由于結(jié)構(gòu)設計不合理，致使氣化效果不佳，汽化氣品質(zhì)不穩(wěn)定。因此需要一種汽化器，既能克服加熱氣化器安全隱患，又要解決裹挾式汽化器氣化效果不佳的問題。

因此，急需一種安全性好，汽化效果好的新型安全節(jié)能汽化器。

實用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有加熱氣化器不安全，裹挾式汽化器氣化效果不佳的問題，本實用新型的目的是提供一種新型安全節(jié)能汽化器，具有安全性好，汽化效果好的優(yōu)點。

本實用新型提供了如下的技術方案：

一種新型安全節(jié)能汽化器，包括汽化瓶、進氣口、進液口、出氣口、多孔柱體和進氣管道，所述汽化瓶頂部設有所述進氣口、所述進液口和所述出氣口，所述進液口和所述出氣口位于所述進氣口的兩側(cè)，所述汽化瓶內(nèi)設有所述進氣管道，所述進氣管道上端與所述進氣口連通，所述進氣管道下端插入所述多孔柱體內(nèi)，所述進氣管道固定在所述汽化瓶內(nèi)。

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本較低；所述多孔柱體的設置主要起緩沖作用，可使氣化攜帶氣體和液體充分接觸混合，更快達到預期的氣化效果；本實用新型不需要加熱，安全性更好，不會有安全隱患。

優(yōu)選的，所述進氣管道、所述汽化瓶和所述多孔柱體的軸線重合。

優(yōu)選的，所述多孔柱體由若干石英顆粒燒結(jié)而成。所述石英顆粒燒制的所述多孔柱體緩沖效果更好。

優(yōu)選的，所述石英顆粒的直徑為0.2-0.8mm。

優(yōu)選的，所述進氣管道周向上設有若干均勻分布的固定桿，所述進氣管道通過所述固定桿固定在所述汽化瓶內(nèi)，所述固定桿的一端與所述進氣管道固定連接，所述進氣管道的另一端固定在所述汽化瓶內(nèi)壁上。所述固定桿的設置主要是為了固定所述進氣管道，使其可豎直放置在所述汽化瓶內(nèi)，不影響氮氣的流通。

優(yōu)選的，所述固定桿的數(shù)量至少為3個。所述固定桿的數(shù)量越多，對所述進氣管道的固定效果越好。

本實用新型的有益效果是：

1、多孔柱體的設置主要起緩沖作用，可使氣化攜帶氣體和液體充分接觸混合，更快達到預期的氣化效果。

2、本實用新型不需要加熱，安全性更好，不會有安全隱患。

3、結(jié)構(gòu)簡單，成本低。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；