[實用新型]防止DI Max漏水的供水裝置有效

申請號：	201721024286.2	申請日：	2017-08-16
公開（公告）號：	CN207484582U	公開（公告）日：	2018-06-12
發明（設計）人：	朱亮;柳小敏;邰曉東	申請（專利權）人：	上海華力微電子有限公司
主分類號：	E03B11/16	分類號：	E03B11/16;E03B7/07
代理公司：	上海申新律師事務所 31272	代理人：	俞滌炯
地址：	201203 上海市浦***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	供水管路漏水機臺水箱水泵供水管道供水裝置回水管路防泄露進水口漏液檢測傳感器本實用新型出水口管道傳感器檢測進水口管道水泵出水口內外雙層依次相連出水口傳感器供水管管壁流管道孔回水箱外部觸發加裝腔體噴射泄露報警
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【說明書】：

本實用新型提供了一種防止DIMax漏水的供水裝置，包括依次相連的機臺腔體、回水管路、DIMax和帶內外雙層供水管道的供水管路；所述DIMax包括水箱和水泵；所述水箱包括與回水管路相連的進水口、所述水泵的進水口管道相連的出水口、與水泵的出水口管道相連的水泵出水口管道孔和與所述供水管路的外層供水管道相連的供水管路進水口。通過在供水管路外部加裝防泄露管路，并將供水管的最低點設置在水箱里，并在最低點設置漏液檢測傳感器，一旦傳感器檢測到漏水，傳感器會觸發機臺報警。當供水管路發生漏水時，由于供水管路外部裝有防泄露管路，因此水流不會向四周噴射，并且發生的漏水會沿著管壁流回水箱，從而防止水泄露到機臺以外位置。

技術領域

本實用新型涉及一種供水裝置，尤其涉及一種防止DI Max漏水的供水裝置。

背景技術

目前PVD機臺全部安裝DI Max，所述DIMax由水箱和水泵組成，為機臺提供冷卻水。由于DI Max供水管路的壓力較高，供水管路時常會因為供水管路上的靜電導致水管管壁出現小孔，從而出現小水流噴射現象。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的缺陷，提供一種能有效緩解水流噴射現象的防止DI Max漏水的供水裝置。

本實用新型為解決上述技術問題采用以下技術方案：

一種防止DI Max漏水的供水裝置，包括依次相連的機臺腔體、回水管路、 DIMax和帶內外雙層供水管道的供水管路；所述DIMax包括水箱和水泵；所述水箱包括與回水管路相連的進水口、所述水泵的進水口管道相連的出水口、與水泵的出水口管道相連的水泵出水口管道孔和與所述供水管路的外層供水管道相連的供水管路進水口；所述出水口管道穿過所述水泵出水口管道孔并在水箱上表面內側與所述雙層供水管道的內層供水管道相連。

為了進一步優化上述技術方案，本實用新型所采取的技術措施為：

優選的，所述水箱與供水管路連接處為所述供水管路的最低點。

優選的，所述水箱的進水口、出水口、水泵出水口管道孔和供水管路進水口的管道連接處均為法蘭連接。

優選的，所述雙層供水管道內設內層供水管道與外層供水管道相連的支桿。

優選的，所述支桿為至少一個并沿圓周方向設置。

優選的，所述內層供水管道與外層供水管道間設置有濾網。

優選的，所述濾網為紡織纖維濾網。

優選的，所述供水管路于管路最低處設外層供水管道出水口。

優選的，所述外層供水管道出水口與所述水泵的進水口管道三通連接。

優選的，所述內層供水管道設不銹鋼防壓管套。

本實用新型采用以上技術方案，與現有技術相比，具有如下技術效果：

通過在供水管路外部加裝防泄露管路，并將供水管的最低點設置在水箱里。當供水管路發生漏水時，由于供水管路外部裝有防泄露管路，因此水流不會向四周噴射，并且發生的漏水會沿著管壁流回水箱，從而防止水泄露到機臺以外位置。