[實用新型]一種蓋板及使用該蓋板的托盤組件

有效

• 申請號: 201721010411.4
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN207183242U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 馮思達
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張天舒

1.一種蓋板，其特征在于，所述蓋板設置為包括板體和壓爪，所述板體設置有復數個通孔；在所述板體上每個通孔的周向可拆卸連接有復數個所述壓爪，所述壓爪向與其對應的通孔的中心伸出。

2.根據權利要求1所述的蓋板，其特征在于，所述壓爪包括連接部和壓緊部；所述連接部與所述板體可拆卸連接；所述壓緊部向所述通孔的中心伸出，用于將放置在托盤上的晶圓片壓緊。

3.根據權利要求2所述的蓋板，其特征在于，所述壓爪還包括定位部，所述定位部與所述板體配合用于準確定位所述壓爪的安裝位置。

4.根據權利要求3所述的蓋板，其特征在于，所述定位部設置為突出塊，所述通孔的側壁設置有形狀與所述突出塊的形狀相配合的定位凹槽，所述突出塊插入到所述定位凹槽進行定位。

5.根據權利要求4所述的蓋板，其特征在于，所述突出塊為長條形，其延伸方向與所述板體所在的平面平行；所述突出塊的兩個側端面均為圓弧面。

6.根據權利要求2所述的蓋板，其特征在于，所述連接部設有穿孔，所述通孔的側壁設置有螺紋孔，螺釘穿過所述穿孔與所述螺紋孔連接，從而將所述連接部固定在所述板體上。

7.根據權利要求2所述的蓋板，其特征在于，所述連接部與所述板體之間通過磁性力相互固定連接。

8.根據權利要求2所述的蓋板，其特征在于，所述連接部與所述板體之間通過膠連接，其中膠的連接力使得所述連接部能與所述板體可拆卸。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的蓋板，其特征在于，所述板體的材料與所述壓爪的材料不相同。

10.一種托盤組件，其包括托盤，所述托盤用于放置晶圓片，其特征在于，所述托盤組件還包括權利要求1至9中任一項所述的蓋板，所述蓋板壓蓋在所述托盤上，所述通孔的位置與晶圓片對應。