[實用新型]太陽能電池硅片濕法清洗設備有效
| 申請號: | 201721008647.4 | 申請日: | 2017-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN207217481U | 公開(公告)日: | 2018-04-10 |
| 發明(設計)人: | 戴國健 | 申請(專利權)人: | 常州市杰洋精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258 | 代理人: | 鄭云 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 硅片 濕法 清洗 設備 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種太陽能電池硅片濕法清洗設備。
背景技術
太陽能電池制作工藝中,電池硅片通常采用濕法清洗處理,以清除硅片表面雜物、油漬及其他一些有害物質,確保電池硅片后續工藝的正常進行。而現有用于電池硅片的清洗設備,外觀上比較單一,缺乏一定的美學設計,視覺效果較差,同時設備內部各個功能區的分布合理性不夠,不便隨時觀察內部操作過程。
發明內容
本實用新型要解決的技術問題是:為了克服現有技術中之不足,本實用新型提供一種外形較美觀、內部各功能區設置合理的太陽能電池硅片濕法清洗設備。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種太陽能電池硅片濕法清洗設備,包括矩形的框體,所述的框體正面安裝有四角端具有過渡圓弧的矩形板,框體頂部兩側連接有前頂蓋板和后頂蓋板,矩形板側的框體端部為上下料區,框體前部為前操作區,框體后部對應為后操作區,前頂蓋板下面為電氣安裝區,后頂蓋板下方為管道安裝區,前頂蓋板和后頂蓋板之間形成抽風系統安裝區,框體內設有運動系統安裝區、清洗作業區,清洗作業區下方為排水系統安裝區。
為提高整體美觀性,所述的前頂蓋板、后頂蓋板和框體的上下兩側邊均具有與矩形板四角端過渡圓弧相配的圓弧,前頂蓋板和后頂蓋板均為透明板。
進一步地,為便于操作,所述的框體前后部均設有手動控制區。
所述的矩形板上安裝有便于觀察框體內部狀況的透明窗口。
所述的框體背面設有后透明窗口,位于上下料區旁側的框體內嵌入安裝有電柜。
所述的框體頂部設有連通抽風系統的進風口,抽風系統的入風處安裝過濾裝置。
本實用新型的有益效果是:本實用新型對清洗設備的各功能分區進行合理布局,極大地方便了硅片清洗作業過程的操作與監控,同時框架周邊矩形四角帶圓弧設計,提升了設備的工業美學品位,視覺效果很好,使設備更具市場競爭力。
附圖說明
下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的前側斜視結構示意圖。
圖2是本實用新型的后側斜視結構示意圖。
圖3是本實用新型的正視結構示意圖。
圖中:1.框架 2.矩形板 3.前頂蓋板 4.后頂蓋板 5.上下料區 6.前操作區 7.手動控制區 8.后操作區 9.電氣安裝區 10.管道安裝區 11.抽風系統安裝區 12.運動系統安裝區 13.清洗作業區 14.排水系統安裝區15.透明窗口 16.后透明窗口 17.電柜
具體實施方式
現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結構,因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
如圖1~圖3所示的一種太陽能電池硅片濕法清洗設備,包括矩形的框體1,所述的框體1正面安裝有矩形板2,矩形板2四角端均具有過渡圓弧。框體1頂部兩側連接有透明的前頂蓋板3和后頂蓋板4,所述的前頂蓋板3、后頂蓋板4具有與矩形板2上兩側角端過渡圓弧相配的圓弧,框體1的上下兩側邊均具有與矩形板2四角端過渡圓弧相配的圓弧,前頂蓋板3和后頂蓋板4均為透明板。
各個功能區的分布如下:位于矩形板2側的框體1端部為上下料區5,框體1前部為前操作區6和手動控制區7,框體1后部對應為后操作區8并同時設有手動控制區7,前頂蓋板3下面為電氣安裝區9,后頂蓋板4下方為管道安裝區10,前頂蓋板3和后頂蓋板4之間形成抽風系統安裝區11,在框體1頂部還設有連通抽風系統的進風口,并在抽風系統的入風處安裝過濾裝置,框體1內近框體1前部側為運動系統安裝區12,框體中央位置為清洗作業區13,清洗作業區13下方為排水系統安裝區14。
所述的矩形板2上安裝有便于觀察框體1內部狀況的透明窗口15,框體1背面同樣設有觀察框體1內部狀況的后透明窗口16,位于上下料區5旁側的框體1內嵌入安裝有電柜17。
上述框架1、矩形板2、前頂蓋板3和后頂蓋板4所采用的圓弧過渡設計,其圓弧大小、矩形板2上下角端圓弧是否一致、前頂蓋板3和后頂蓋板4是否透明,都可以根據實際要求加以變化,且框架頂部電氣安裝區9和管道安裝區10也可進行互換。
本實用新型對太陽能電池硅片濕法清洗設備的各功能分區進行合理布局,極大地方便了硅片清洗作業過程的操作與監控,同時框架1周邊矩形四角帶圓弧設計,提升了設備的工業美學品位,視覺效果很好,使設備更具市場競爭力。
以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內容,相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內,進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容,必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





