[實用新型]一種石墨舟硅片批量吸取裝置

有效

• 申請號: 201721008295.2
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN207116408U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;賈宇鵬
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L31/18
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙)11369
• 代理人: 韓飛

技術領域

本實用新型涉及太陽能硅片制造領域，特別涉及一種石墨舟硅片批量吸取裝置。

背景技術

石墨舟即石墨模具，是一種載體，它可以把我們需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型。

太陽能硅片的生產加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉化率，在這個工序需要用到石墨舟，其工作原理為：將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數量的硅片，然后將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備的墻體內，采用PECVD工藝進行放電鍍膜，鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。

在上述工序中，需要對硅片進行多次批量吸取作業，在現有技術中，仍采用由人工操作的生產方式，生產效率受到一定限制，同時硅片容易在插片及取片過程中受到不同程度的污染及劃傷，影響產品質量。有鑒于此，實有必要開發一種石墨舟硅片批量吸取裝置，用以解決上述問題。

實用新型內容

針對現有技術中存在的不足之處，本實用新型的目的是提供一種石墨舟硅片批量吸取裝置，可實現硅片轉移過程中的批量硅片吸取，同時能消吸盤對硅片表面的劃傷及壓迫造成的損壞，提高了生產效率的同時提高了成品率。

為了實現根據本實用新型的上述目的和其他優點，提供了一種石墨舟硅片批量吸取裝置，包括：

吸盤組件；以及

用于將吸盤組件鎖緊固定的緊固組件，

其中，吸盤組件包括若干片吸盤，相鄰兩片吸盤相互平行且間隔一定距離以形成位于兩者之間的吸取空間。

優選的是，吸盤沿其縱軸方向開設有至少3條吸嘴容納槽，每條容納通槽中均設有吸嘴組件。

優選的是，吸嘴組件包括：

吸嘴；以及

與吸嘴相連通的吸管，其用于將吸嘴內部抽真空的吸管。

優選的是，容納槽的末端連通地設有吸嘴通槽，吸嘴位于吸嘴通槽中。

優選的是，吸嘴通槽的邊緣連通地設有至少3條彈簧通槽，每條彈簧通槽中均設有平衡彈簧，其中，平衡彈簧的一端與吸盤相連接，另一端與吸嘴的邊緣相連接。

優選的是，緊固組件包括：

至少一根緊固桿；

固定板；以及

固接于固定板下表面的左緊固板與右緊固板，

其中，左緊固板與右緊固板相互平行且間隔設置以形成位于兩者之間的安裝空間，所述安裝空間中設有若干片用于安裝吸盤的安裝板，緊固桿從左至右依次將左緊固板、安裝板、及右緊固板串聯起來并將三者鎖定緊固。

優選的是，安裝板的數目與吸盤的數目相同。

優選的是，安裝板的其中一側開設有指狀的安裝槽，安裝槽設有至少4條相互平行的指端，相鄰兩條指端間形成有與吸嘴容納槽的頂端相匹配的安裝凸臺。

優選的是，安裝板內部開設有通往安裝凸臺的氣路，所述氣路的吸氣口連通有吸氣嘴，所述氣路的抽氣口通過抽氣嘴與吸管相連通。

本實用新型與現有技術相比，其有益效果是：可實現硅片轉移過程中的批量硅片吸取，同時能消吸盤對硅片表面的劃傷及壓迫造成的損壞，提高了生產效率的同時提高了成品率。

附圖說明

圖1為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置的立體圖；

圖2為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置的正視圖；

圖3為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置的左視圖；

圖4為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置中吸盤的左視圖；

圖5為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置中吸盤的正視圖；

圖6為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置中吸盤與安裝板相配合的立體圖；

圖7為根據本實用新型所述的石墨舟硅片批量吸取裝置中吸盤與安裝板的爆炸視圖。

具體實施方式