[實用新型]超純納米電子級氣體過濾裝置

有效

• 申請號: 201721008288.2
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN207576009U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 徐小明;蘇林杰;樊麗琴
• 申請（專利權）人: 上海閏銘精密技術有限公司
• 主分類號: B01D46/54
• 分類號: B01D46/54;B01D61/02;B01D61/08;B01D61/10;B01D63/06
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本實用新型公開一種超純納米電子級氣體過濾裝置，包括筒體、封頭、以及若干個金屬燒結濾芯，所述封頭安裝在所述筒體的兩端，位于出氣口一端的所述筒體上設置有花盤，所述金屬燒結濾芯安裝在所述花盤上，所述花盤將筒體與封頭封閉形成的空間分隔成第一空間和第二空間，待過濾氣體的傳送發生在第一空間，已過濾氣體的傳送發生在第二空間，與第一空間相通的封頭上設置有進氣接頭，與第二空間相通的封頭上設置有出氣接頭。本實用新型中的氣體過濾裝置過濾精度及過濾效率高、結構強度高、使用壽命長。

技術領域

本實用新型屬于氣體凈化設備技術領域，具體涉及一種超純納米電子級氣體過濾裝置。

背景技術

超純電子級氣體由氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等組成，它們大部分是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到。超純電子級氣體通常根據原料氣來源情況、雜質組份含量、純度要求來選擇相應的制備方法。集成電路發展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求。在超純氣體或電子氣體供氣系統中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。

目前國內電子級氣體整體水平和國外還有較大的差距，純度在99.999％以上的電子級氣體幾乎全部依賴國外進口。和快速發展的國內微電子產業相比，與之相關的國內電子級氣體的研究與生產相對落后。解決國內半導體、微電子、LED、光伏等行業對國外進口電子級氣體的依賴。對超純納米電子級氣體的生產工藝及過濾技術研究已經非常有必要、并且意義重大。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種超純納米電子級氣體過濾裝置，可以解決現有技術中氣體過濾裝置過濾精度低以及過濾效率低、結構強度弱、使用壽命短的技術問題。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案：一種超純納米電子級氣體過濾裝置，其特征在于：包括筒體、封頭、以及若干個金屬燒結濾芯，所述封頭安裝在所述筒體的兩端，位于出氣口一端的所述筒體上設置有花盤，所述金屬燒結濾芯安裝在所述花盤上，所述花盤將筒體與封頭封閉形成的空間分隔成第一空間和第二空間，待過濾氣體的傳送發生在第一空間，已過濾氣體的傳送發生在第二空間，與第一空間相通的封頭上設置有進氣接頭，與第二空間相通的封頭上設置有出氣接頭。

本實用新型中，采用獨特的金屬燒結濾芯替代傳統的陶瓷膜濾芯，使得超純納米電子級氣體過濾裝置能耐更高的溫度和壓力，其過濾效率更高，結構強度更好，且使用壽命更長。且過濾器采用封閉式結構，可以防止過濾過程中引入污染；此外本實用新型裝置中，筒體兩端的封頭上分別設置有接頭，使本實用新型不但實現過濾氣體的功能，同時還能實現反吹功能，即通過出氣接頭通入潔凈氣體至金屬燒結濾芯內，使金屬燒結濾芯外表面雜質吹落，濾芯重新保持潔凈，可以進一步循環使用。

進一步地，所述金屬燒結濾芯為一端開口、另一端封閉的管狀濾芯，且所述管狀濾芯水平間隔排列在第一空間內，開口一端的所述管狀濾芯與所述花盤固定。

本實用新型中，管狀濾芯水平間隔排列可以提高單根濾芯的過濾效果，有效延長超純納米電子級氣體過濾裝置的使用壽命。

更進一步地，所述筒體上設置有多孔支撐板，管狀濾芯的封閉一端固定在多孔支撐板上。

本實用新型中，在筒體的第一空間內還安裝有多孔支撐板，用于固定管狀濾芯，可以保證濾芯的強度和穩定性；同時多孔支撐板對進入的氣體進行布氣，進一步提高單根濾芯的過濾效果，延長其使用壽命。

進一步地，所述進氣接頭與出氣接頭均為VCR接頭。

采用獨特的VCR接頭可以保證出氣接頭與進氣接頭具備良好的氣密性，降低泄漏率，從而有效避免氣源泄露造成的危險。

進一步地，所述封頭與筒體之間通過焊接連接；所述金屬燒結濾芯采用焊接連接。采用焊接固定可以提高器件的固定強度，同時也可以避免安裝金屬燒結濾芯造成的二次污染。