[實用新型]一種電磁吸收超材料

有效

• 申請號: 201721007696.6
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN207490105U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 李鐵;余愛生;李偉;王躍林
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: H01Q15/00
• 分類號: H01Q15/00;G02B5/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 鄧琪

1.一種電磁吸收超材料，其上表面處于工作環境中，包括周期性諧振單元陣列(23)，其特征在于，所述電磁吸收超材料(2)上表面設有一層電介質復合薄膜(3)，該電介質復合薄膜(3)為多層不同材料的固態電介質層按不同厚度比例的疊加。

2.根據權利要求1所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)通過使用半導體薄膜工藝，在電磁吸收超材料表面沉積。

3.根據權利要求2所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述半導體薄膜工藝包括CVD、PVD或ALD。

4.根據權利要求1所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)對該電磁吸收超材料(2)的表面晶格共振位置和對SLR強度予以調制。

5.根據權利要求4所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)對該電磁吸收超材料(2)的強度調制包括使SLR的位置向短波處移動或者SLR強度減弱，為將所述電介質復合薄膜(3)的等效折射率設置為小于工作環境折射率。

6.根據權利要求4所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)對該電磁吸收超材料(2)的強度調制包括使SLR的位置向長波處移動或者SLR強度增強，為將所述電介質復合薄膜(3)的等效折射率設置為大于工作環境折射率。

7.根據權利要求5或6所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)的等效折射率n_eff為：

其中，N為電介質復合薄膜(3)的層數，ni為第i層介質折射率，hi為第i層介質厚度，h為復合膜總厚度。

8.根據權利要求5或6所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述電介質復合薄膜(3)的薄膜厚度或電介質復合薄膜(3)的等效折射率與工作環境折射率的差距與調制效果成正比，而與實現相同調制效果所需的膜厚成反比。

9.根據權利要求1所述的電磁吸收超材料，其特征在于，所述周期性諧振單元陣列(23)的諧振單元為基于LSPR或LC諧振的諧振單元。