[實(shí)用新型]一種藍(lán)寶石晶棒的基準(zhǔn)面固定夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721005723.6
• 申請(qǐng)日: 2017-08-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207128103U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左洪波;楊鑫宏;何海洋;崔寶龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱奧瑞德光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D7/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于藍(lán)寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種藍(lán)寶石晶棒的基準(zhǔn)面固定夾具。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石具有優(yōu)異的機(jī)械、化學(xué)、光學(xué)、電學(xué)等綜合性能，被廣泛應(yīng)用于耐高溫器件、特種窗口、光學(xué)系統(tǒng)、微電子、光電子等方面，成為現(xiàn)代工業(yè)中重要的基礎(chǔ)材料。近年來(lái)，藍(lán)寶石更是引起了人們極大的關(guān)注，除了已經(jīng)大量用作氮化鎵基藍(lán)光LED的襯底外，消費(fèi)類電子方面也顯示出廣闊的市場(chǎng)前景。

藍(lán)寶石晶棒的端面在切割后晶向存在偏差，因此，在后續(xù)加工過(guò)程中需要將晶棒的加工基準(zhǔn)面固定于磨削設(shè)備的磁盤表面，通過(guò)對(duì)晶棒端面的磨削糾正晶向，以達(dá)到晶向精度要求。目前，常用的基準(zhǔn)面固定方式是將藍(lán)寶石晶棒加工基準(zhǔn)面用熱熔膠粘接在鐵板上，再通過(guò)磨削設(shè)備的磁盤對(duì)鐵板的吸附，達(dá)到晶棒基準(zhǔn)面在設(shè)備磁盤表面固定的目的。這種方式存在一定的問(wèn)題：1）基準(zhǔn)面粘接之前必須將鐵板加熱使熱熔膠融化，粘接完畢之后須靜置等待膠水冷卻，導(dǎo)致基準(zhǔn)面粘接工作耗時(shí)過(guò)多，加工效率低；2）熱熔膠為一次性消耗品，加工成本較高；3）熱熔膠在加熱過(guò)程中揮發(fā)出刺激性氣味，對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的作業(yè)環(huán)境造成影響。因此，有必要設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出一種高效、實(shí)用的藍(lán)寶石晶棒基準(zhǔn)面固定夾具。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有藍(lán)寶石晶棒基準(zhǔn)面固定方式的耗時(shí)長(zhǎng)、效率低、成本高和影響環(huán)境等問(wèn)題，提供一種高效率、低成本、無(wú)污染的藍(lán)寶石基準(zhǔn)面固定夾具。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種藍(lán)寶石晶棒的基準(zhǔn)面固定夾具，該夾具采用可被磁鐵吸附的堅(jiān)固金屬制成（如鑄鐵），包括如下部件：

（1）平面固定夾具：平面固定夾具底座的上、下表面均為水平面，其中平面固定夾具底座上表面有定位框；平面固定夾具頂部固定有氣缸，氣缸連接壓板。

（2）端面糾角夾具：端面糾角夾具底板的上、下表面均為水平面，其中端面糾角夾具底板上表面分布有圓形凹槽和對(duì)角線方向的直線凹槽，下表面有橫、縱向的直線凹槽；四個(gè)立柱均帶有頂絲和間隔片。

本實(shí)用新型的有益效果在于：

（1）通過(guò)平面固定夾具和端面糾角夾具配合使用，在基準(zhǔn)面固定過(guò)程中無(wú)等待時(shí)間，晶棒基準(zhǔn)面固定工作的效率顯著提高。

（2）使用夾具在基準(zhǔn)面固定過(guò)程中無(wú)輔助材料的消耗，降低加工成本。

使用夾具在基準(zhǔn)面固定過(guò)程中無(wú)污染物揮發(fā)，改善生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境。

附圖說(shuō)明

圖1為藍(lán)寶石晶棒基準(zhǔn)面固定夾具的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

圖1為藍(lán)寶石晶棒基準(zhǔn)面固定夾具的結(jié)構(gòu)圖。該夾具包括平面固定夾具和端面糾角夾具，具體如下：

端面糾角夾具：由底板3和立柱4（4個(gè)）組成；

平面固定夾具：由底座1、定位框2、壓板5、支架6、氣缸座板7和氣缸8組成。

底座1：底座1上、下表面均為水平面，上表面安裝有定位框。

定位框2：定位框2由螺絲緊固在底座上表面。

底板3：底板3上表面與晶棒基準(zhǔn)面接觸，起支撐和固定作用。上、下表面均為水平面，其中上表面分布有圓形凹槽和對(duì)角線方向的直線凹槽，直線凹槽內(nèi)分布有多個(gè)定位孔；下表面有橫、縱向的直線凹槽。底板3可放入定位框2內(nèi)。

立柱4：立柱4上部帶有頂絲和金屬間隔片，下部鑲嵌入底板3對(duì)角線方向的直線凹槽內(nèi)，根據(jù)不同規(guī)格晶棒的尺寸，改變定位孔的組合使用方式，可將立柱4固定在不同位置，4個(gè)立柱4通過(guò)頂絲和金屬間隔片對(duì)晶棒進(jìn)行緊固，對(duì)晶棒側(cè)面為點(diǎn)式接觸，緊固效果不受晶棒垂直度偏差的影響，間隔片可有效防止晶棒表面被頂絲劃傷。

壓板5：壓板5下表面與底座1上表面平行，由氣缸8推動(dòng)上升和下降。可將晶棒上方端面壓實(shí)，使基準(zhǔn)面與底板3嚴(yán)密接觸。

支架6：支架6連接底座1與氣缸座板7。

氣缸座板7：氣缸座板7對(duì)氣缸8起固定和支撐作用。

氣缸8：氣缸8安裝在氣缸座板7上，配有電動(dòng)氣壓開(kāi)關(guān)，為壓板5提供動(dòng)力。

本實(shí)施例具體操作方法如下：

（1）檢測(cè)晶棒一個(gè)端面的晶向偏差，確定該端面需磨削的角度和方向并在晶棒上標(biāo)記，以此端面作為晶棒后續(xù)加工的基準(zhǔn)端面。

（2）將端面糾角夾具水平放入定位框2內(nèi)，再將晶棒保持基準(zhǔn)端面向下，垂直放入端面糾角夾具內(nèi)，使基準(zhǔn)面與底板3充分接觸。