[實用新型]渦輪分子泵減震器

有效

• 申請號: 201721002252.3
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN207621234U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 戴曉鵬
• 申請（專利權）人: 上海鋯智電子科技有限公司
• 主分類號: F16F3/12
• 分類號: F16F3/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種渦輪分子泵減震器，包括法蘭一、筒體一、不銹鋼波紋管，橡膠填充物、筒體二及法蘭二。本實用新型提供的渦輪分子泵減震器，其通過上下兩個法蘭分別與掃描電子顯微鏡樣品室和渦輪分子泵密封聯接，通過不銹鋼波紋管和橡膠填充物的共同作用，可以有效防止渦輪分子泵在運轉過程中產生的震動向掃描電子顯微鏡樣品室傳遞。本實用新型在解決渦輪分子泵減震問題的同時又完成了渦輪分子泵的安裝固定，極大地簡化了裝配過程的復雜性。

技術領域

本實用新型涉及一種減震器裝置，具體是一種用于減少渦輪分子泵運轉中產生的震動向掃描電子顯微鏡樣品室傳遞的裝置。

背景技術

電子顯微鏡的放大倍數高達幾十萬倍，樣品的任何振動都會直接影響成像質量，這就要求擺放樣品的樣品臺具有高穩定性的特點，但是為了多角度，多位置觀察樣品，現代電子顯微鏡樣品臺多為5軸懸臂設計，需要使用直線導軌，這些部件具有低阻尼特性，會產生微小振動。

掃描電子顯微鏡要求工作在真空環境下，需要使用渦輪分子泵持續工作，分子泵靠高速旋轉的渦輪葉片獲得真空，渦輪分子泵本身就會產生震動，如果在渦輪分子泵和掃描電子顯微鏡樣品室之間沒有減震裝置，會嚴重影響成像質量。

目前的減振措施都存在減震效果不理想，安裝復雜，成本高的問題。

發明內容

本實用新型針對現有技術中存在的上述不足，提供了一種渦輪分子泵減震器。

本實用新型是通過以下技術方案實現的。

一種渦輪分子泵減震器，包括法蘭一、筒體一、不銹鋼波紋管，橡膠填充物、筒體二及法蘭二，其中：

法蘭一，材料為316L不銹鋼，所述法蘭一與筒體一之間采用激光焊焊接成型；

筒體一，材料為316L不銹鋼，所述筒體一與法蘭一和不銹鋼波紋管之間分別采用激光焊焊接成型；

不銹鋼波紋管，材料為316L不銹鋼，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不銹鋼波紋管與筒體一和筒體二之間分別采用激光焊焊接成型；

橡膠填充物，材料為氟橡膠，與不銹鋼波紋管采用一次性整體澆鑄成型，緊密結合成為一個整體；

筒體二，材料為316L不銹鋼，所述筒體二與法蘭二和不銹鋼波紋管之間分別采用激光焊焊接成型；

法蘭二，材料為316L不銹鋼，所述法蘭二與筒體二之間采用激光焊焊接成型。

進一步地，所述橡膠填充物與不銹鋼波紋管是采用一次性整體澆鑄成型的。

進一步地，所述不銹鋼波紋管與筒體一和筒體二之間分別采用激光焊焊接成型。

進一步地，所述法蘭一與筒體一之間采用激光焊焊接成型。

進一步地，所述法蘭二與筒體二之間采用激光焊焊接成型。

本實用新型提供的渦輪分子泵減震器，其通過上下兩個法蘭分別與掃描電子顯微鏡樣品室和渦輪分子泵密封聯接，通過不銹鋼波紋管和橡膠填充物的共同作用，可以有效防止渦輪分子泵在運轉過程中產生的震動向掃描電子顯微鏡樣品室傳遞。

本實用新型在解決渦輪分子泵減震問題的同時又完成了渦輪分子泵的安裝固定，極大地簡化了裝配過程的復雜性。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構圖；

圖中：1為法蘭一，2為筒體一，3為橡膠填充物，4為不銹鋼波紋管，5為筒體二，6為法蘭二。

具體實施方式