[實用新型]一種電子束激發熒光成像光譜檢測系統

有效

• 申請號: 201720999994.1
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN207051201U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 王治洋
• 申請（專利權）人: 長春光吉科技有限責任公司
• 主分類號: G01N21/66
• 分類號: G01N21/66
• 代理公司: 西安銘澤知識產權代理事務所(普通合伙)61223
• 代理人: 俞曉明

1.一種電子束激發熒光成像光譜檢測系統，其特征在于，包括CCD圖像采集裝置(1)、管鏡(2)、同軸照明裝置(3)、熒光接收物鏡(4)、真空室(5)、光譜儀(6)和真空泵(7)；所述CCD圖像采集裝置(1)與所述管鏡(2)固定連接，所述管鏡(2)與所述熒光接收物鏡(4)之間固定安裝有分光棱鏡(61)和第一反射鏡(32)，所述分光棱鏡(61)與水平正方向的夾角為45度，所述第一反射鏡(32)與水平正方向的夾角為135度，且所述分光棱鏡(61)位于靠近所述管鏡(2)的一側，所述熒光接收物鏡(4)遠離所述第一反射鏡(32)的一端安裝在所述真空室(5)的側壁上；所述同軸照明裝置(3)位于所述管鏡(2)上方，所述第一反射鏡(32)上方固定安裝有與其平行的第二反射鏡(31)，所述分光棱鏡(61)下方安裝有所述光譜儀(6)；所述真空泵(7)與所述真空室(5)連通，用以對所述真空室(5)抽真空；所述真空室(5)內部固定安裝有樣品架(12)，所述樣品架(12)與水平正方向的夾角為45度，且所述樣品架(12)位于所述熒光接收物鏡(4)的水平正方向前方，所述樣品架(12)正上方從上到下依次固定安裝有燈絲(8)、正電極(9)、負電極(10)和光闌(11)，所述正電極(9)、負電極(10)和光闌(11)中央均開設有孔，且所述正電極(9)、負電極(10)和光闌(11)上的孔位于一條豎直線上。

2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述同軸照明裝置(3)內部安裝有LED光源，LED光源發出的光通過非球面透鏡進行準直，繼而通過石英光導進行勻化，穿過聚光器孔徑獲得平行光，經過擴束鏡擴束，以45度入射角照射在所述第二反射鏡(31)上。

3.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述真空泵(7)包括相互連接的粗抽泵和渦輪分子泵。

4.如權利要求1所述的系統，其特征在于，CCD圖像采集裝置(1)和光譜儀(6)構成共聚焦成像采集系統，通過CCD圖像采集裝置(1)獲得清晰圖像，通過光譜儀(6)顯示樣品的特征譜線，最后通過熒光光譜的波長和強度所確定的特征峰分析樣品材料的特性。

5.如權利要求1所述的系統，其特征在于，給燈絲(8)加100-180V的電壓，通過改變電壓改變發射電子的數量，然后給由正電極(9)和負電極(10)構成的加速電極加0-40KV的電壓，通過改變電壓改變發射電子的能量。

6.如權利要求5所述的系統，其特征在于，電子槍的燈絲(8)發熱后逸出的電子在正電極(9)高壓的加速下射出，負電極(10)和正電極(9)組成一個加速電極，經過光闌(11)去除電子束中大角度電子后照射到樣品架(12)的上的樣品上，能量在幾千電子伏以上的高速電子打到樣品材料表面時，大部分都進入樣品材料內部，產生速度越來越低的次級電子，直到樣品材料中出現大量的能量在幾電子伏到十幾電子伏的低速電子。