[實用新型]一種石英舟溫度在線檢測監(jiān)控裝置

有效

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• 申請日: 2017-08-10
• 公開（公告）號: CN207019796U
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設計）人: 虞文軍;向軍;李寶飛;劉強
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: G01J5/02
• 分類號: G01J5/02;G01J5/10;H01L31/18
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司51230
• 代理人: 李春芳

技術(shù)領域

本實用新型屬于光伏電池生產(chǎn)領域，尤其涉及光伏電池生產(chǎn)過程的擴散、退火工序石英舟溫度在線檢測監(jiān)控裝置。

背景技術(shù)

隨著低壓技術(shù)、倒片機技術(shù)、石英舟加工技術(shù)的發(fā)展，擴散、退火工藝由以前的常壓500片/舟，逐步被1000片/舟所取代，更有部分設備制造商已往1200片/舟發(fā)展。

隨著每舟產(chǎn)量的加大，同時工藝時間逐步減短，工藝完后的石英舟及硅片從高溫爐管帶出的熱量越來越集中，往往導致冷卻存儲位上各待冷卻的滿載石英舟之間互相烤炙。達到設定冷卻時間后，被烤炙的滿載石英舟傳出離線機臺，溫度仍處于80度以上高溫，極易造成生產(chǎn)員工搬運石英舟時燙傷，石英舟/硅片損壞。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于：提供一種石英舟溫度在線檢測監(jiān)控裝置，以解決石英舟被傳出離線機臺時，其溫度得不到監(jiān)控，容易造成生產(chǎn)員工燙傷，石英舟/硅片損壞的技術(shù)問題。

本實用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種石英舟溫度在線檢測監(jiān)控裝置，包括機架，機架上安裝有傳送臺，傳送臺上設有用于盛裝石英舟的滑臺；傳送臺下方設有用于檢測石英舟溫度的紅外探頭；傳送臺的傳送末端設有凈化臺，凈化臺上設有自帶蜂鳴器的溫控儀，且溫控儀與紅外探頭電連接。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型的主要改進點在于，機架，機架上傳送臺、滑臺、紅外探頭的設置，以及設置于傳送臺傳送末端的凈化臺、自帶蜂鳴器的溫控儀的設置，通過溫控儀與紅外探頭電連接實現(xiàn)了在石英舟被傳出離線機臺時，對其溫度進行實時監(jiān)控，若石英舟的溫度高于溫控儀的預設值，則蜂鳴器立即發(fā)出聲音報警，提示生產(chǎn)員工，這樣就避免了生產(chǎn)員工燙傷，石英舟/硅片損壞的技術(shù)問題。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型所涉及的電氣原理圖。

具體實施方式

本說明書中公開的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。本申請的主要改進點在于結(jié)構(gòu)，安裝設計，其內(nèi)所涉及的編程內(nèi)容參考現(xiàn)有技術(shù)很容易實現(xiàn)，因此不再贅述。

下面結(jié)合圖1～圖2對本實用新型作詳細說明。

一種石英舟溫度在線檢測監(jiān)控裝置，包括機架5，機架5上安裝有傳送臺6，傳送臺6上設有用于盛裝石英舟7的滑臺8；傳送臺6下方設有紅外探頭1，實時監(jiān)測冷卻完成后傳出的石英舟7(硅片)溫度；傳送臺6的傳送末端設有凈化臺9，凈化臺9上設有自帶蜂鳴器4的溫控儀2，且溫控儀2與紅外探頭1電連接。其中，該蜂鳴器4的設定位置可選擇凈化臺靠近傳送臺6(上下料臺)位置，也可選擇設定與機架5上，便于員工抬舟前觀察石英舟溫度與接收報警信息(溫控儀2自帶顯示器)。

上述裝置所涉及的電路如下所述：

溫控儀2的信號輸入端連接紅外探頭1，溫控儀2的輸出端通過繼電器3連接蜂鳴器4。紅外探頭1反饋溫度檢測信號給溫控儀2，溫控儀自帶設定溫度報警(參數(shù)自定義設置，比如設定報警溫度為35℃)，當紅外探頭測試溫度高于設定溫度時，溫控儀2AL常開端口閉合，繼電器3線圈得電，常開觸點閉合，蜂鳴器4得電，提供聲音報警。

雖設置了工藝完成后石英舟及硅片的冷卻時間；但垂直分布上法人5～7個冷卻架，仍會存在相互烤熾的情況。冷卻架分1#至5#，1#在最低位置，依次5#最高位置。假設2#冷卻架有一還有5分鐘就冷卻完成的工藝后的石英舟及硅片；另一爐管(反應腔室一般4至5個，獨立的)剛有一舟工藝完成出來的石英舟及硅片，剛從反應腔室出來溫度接近400度；機械抓手將這個400度的舟及硅片放到冷卻架1#，就會造成1#位置對2#位置的一種烤炙情況。

工藝運行過程描述：操作員工將插滿硅片的石英舟抬到傳送臺(上下料臺)，放到滑臺上，設置自動運行，將滑臺連帶石英舟送入凈化臺。凈化臺機械抓手將插滿硅片的石英舟，自動送到空閑的爐管(反應腔室)對應的槳(運送硅片及石英舟進爐管的機構(gòu))上，槳將硅片及石英舟運送進爐管進行擴散或退火工藝(工藝溫度700度至850度左右)，工藝結(jié)束后。槳將硅片或舟從爐管取出，放到冷卻架(凈化臺內(nèi)一機構(gòu))進行冷卻。由于凈化臺的冷卻架是垂直分布的5～7個暫存架，先后工藝完后放入冷卻架的石英舟及硅片之間會存在相互烤炙的情況(雖設定冷卻時間，但無法避免)。冷卻時間到之后凈化臺機械抓手將工藝后的硅片及石英舟抓取下來，放入滑臺，然后滑臺傳出到凈化臺之外的傳送臺，便于操作員工將石英舟及硅片抬舟。由于不可避免互相烤炙因素，某系石英舟傳出機臺后，溫度接近90度，很容易造成燙傷，故加裝了此報警機構(gòu)。

本實用新型未詳細闡述的部分屬于本領域公知技術(shù)，本領域技術(shù)人員根據(jù)已有的描述已能夠在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下進行實施，因此，不再贅述。