[實用新型]一種高精度直寫曝光鏡頭

有效

• 申請號: 201720996742.3
• 申請日: 2017-08-10
• 公開（公告）號: CN207301620U
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 蔡志國;龔田
• 申請（專利權）人: 蘇州微影激光技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B3/00;G02B27/09
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司44218
• 代理人: 黃良寶

1.一種高精度直寫曝光鏡頭，包括上曝光鏡頭、下曝光鏡頭以及連接上下曝光鏡頭的連接件，上曝光鏡頭連接有光束整形鏡頭，上曝光鏡頭頂部設有DMD芯片，其特征在于，連接件包括連接筒，連接筒內設有內沿，內沿將連接筒劃分為用于容納上曝光鏡頭的上腔以及用于容納下曝光鏡頭的下腔，內沿上設有用于將方形光斑縮小為圓形光斑的MLA微透鏡。

2.根據權利要求1所述的高精度直寫曝光鏡頭，其特征在于：所述MLA微透鏡由若干個透鏡單元矩形陣列形成，每個透鏡單元為帶矩形基座的凸透鏡。