[實用新型]一種用于單晶硅棒自動檢測線長度及斜度測量的裝置

有效

• 申請號: 201720993326.8
• 申請日: 2017-08-09
• 公開（公告）號: CN207231406U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;周星;朱全民;陳翔;嚴紹軍;葉欣;沈文杰;李林
• 申請（專利權）人: 杭州慧翔電液技術開發有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01C9/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 朱瑩瑩,周世駿

1.一種用于單晶硅棒自動檢測線長度及斜度測量的裝置，其特征在于：包括支撐架(1)和對中及斜度測量組件，所述的對中及斜度測量組件包括水平導軌座(5)，絲桿電機(6)，絲桿(11)，手爪(12)，手爪滑塊安裝座(9)，傾角傳感器(13)，水平電機座(7)；所述的支撐架(1)上固定連接水平導軌座(5)，所述水平導軌座(5)下方兩側分別固定有導軌(10)和水平電機座(7)，該水平電機座(7)上安裝有絲桿電機(6)；所述導軌(10)兩端分別裝有與之相配合的滑塊(8)，與滑塊(8)固定連接的手爪滑塊安裝座(9)和與手爪滑塊安裝座(9)固定連接的手爪(12)，所述手爪(12)為上下可調機構，手爪(12)上裝有傾角傳感器(13)，該傾角傳感器(13)用于在手爪(12)的帶動下貼合待測量的晶棒端面；所述絲桿電機(6)通過絲桿(11)分別與導軌(10)兩端的手爪滑塊安裝座(9)連接，所述手爪滑塊安裝座(9)之間的絲桿(11)上設有聯軸器(14)，該聯軸器(14)用于使其兩側的絲桿(11)旋轉方向相反。

2.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒自動檢測線長度及斜度測量的裝置，其特征在于：所述支撐架(1)兩側分別裝有長度測量組件，所述長度測量組件包括旋轉電機(17)，可調安裝組件(16)和激光測距傳感器(15)；所述可調安裝組件(16)安裝在支撐架(1)，可調安裝組件(16)相對于支撐架(1)可上下調節，所述的可調節安裝組件(16)上固定連接旋轉電機(17)，所述激光測距傳感器(15)通過聯軸器與旋轉電機(17)連接，該旋轉電機(17)帶動激光測距傳感器(15)同步旋轉，所述激光測距傳感器(15)用于測量晶棒的長度。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于單晶硅棒自動檢測線長度及斜度測量的裝置，其特征在于：所述的絲桿(11)包括左夾緊絲桿和右夾緊絲桿，左夾緊絲桿和右夾緊絲桿之間通過聯軸器(14)連接，與所述絲桿(11)連接的絲桿電機(6)工作時，左夾緊絲桿和右夾緊絲桿通過聯軸器實現反向旋轉。

4.根據權利要求1或2所述的一種用于單晶硅棒自動檢測線長度及斜度測量的裝置，其特征在于：所述的手爪(12)通過二級鉸鏈和所述傾角傳感器(13)連接，可使所述的傾角傳感器(13)繞X軸和Y軸旋轉，在用手爪(12)對中待檢測晶棒的過程中，二級鉸鏈可以使傾角傳感器(13)與晶棒端面完全貼合，測量端面斜度。