[實用新型]高真空腔體用一體成型法蘭

有效

• 申請號: 201720981895.0
• 申請日: 2017-08-08
• 公開（公告）號: CN207093981U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 董國材;張祥
• 申請（專利權）人: 常州國成新材料科技有限公司
• 主分類號: F16L23/00
• 分類號: F16L23/00;F16L41/03
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及法蘭領域，特別是一種高真空腔體用一體成型法蘭。

背景技術

法蘭是一種連接工具，法蘭連接就是把兩個管道、管件或器材，先各自固定在一個法蘭盤上，兩個法蘭盤之間，加上法蘭墊，用螺栓緊固在一起，完成了連接。即，法蘭連接是由法蘭、墊片及螺栓三者相互連接作為一組密封結構的可拆連接。

傳統的真空腔體與部件的連接采用焊接工藝的不可拆連接，由于焊接加工易產生氣孔、砂眼、裂紋等缺陷，同時焊接處因介質和復雜的工況會引起應力腐蝕及裂紋等泄露隱患，更嚴重的是會因為焊接變形，造成部件定位不準。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型提出一種高真空腔體用一體成型法蘭，結構簡單、緊湊，在提高密封性能的同時，消除傳統焊接工藝帶來的定位不準的隱患。

本實用新型就現有技術問題提供如下技術方案：

高真空腔體用一體成型法蘭，包括法蘭本體和法蘭端口，在法蘭本體上設有機械加工得到的多個法蘭接口，用于各個結構之間的連接。在法蘭端面上設有若干個安裝孔，且安裝孔沿法蘭本體的中心軸周向排列。同樣的，每個法蘭接口的端面上設有若干個安裝孔，且安裝孔沿法蘭接口的中心軸周向排列。

高真空腔體與其他部件的通過法蘭接口連接，通過墊片、螺栓等標準緊固件達到密封效果，該法蘭結構緊湊，設計簡單，消除了由于焊接變形造成的定位不準的缺陷，提高了真空部件的精準度。

附圖說明

圖1本實用新型正視圖

圖2本實用新型側視圖

圖3本實用新型具體實施效果示意圖。

具體實施例

參見說明書附圖，一種高真空腔體用一體成型法蘭，包括法蘭本體1和法蘭端面2，法蘭端面上設有若干個安裝孔5，且安裝孔5沿法蘭本體的中心軸周向排列。在法蘭本體1上設有機械加工得到的多個法蘭接口3，法蘭接口為標準刀口法蘭（CF35），用于腔體與各個部件之間的連接。每個法蘭接口的端面上設有若干個安裝孔4，且安裝孔4沿法蘭接口的中心軸周向排列。

參見附圖3具體實施效果示意圖，以分子束外延設備作為該實用新型的具體實施例來作進一步說明。真空腔體6與一體成型法蘭端口2相連，蒸發源7與法蘭本體1上的法蘭接口3相連，三者分別通過墊片、螺栓等緊固連接在一起，這樣就消除了原先采用焊接連接帶來的焊接變形，不會造成蒸發源的定位不準，影響鍍膜效果，從而性能達到優化。