[實用新型]一種集成有蓋板抓取機構的搬運機構

有效

• 申請號: 201720980025.1
• 申請日: 2017-08-08
• 公開（公告）號: CN207524587U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 濮一鵬
• 申請（專利權）人: 無錫先導智能裝備股份有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種集成有蓋板抓取機構的搬運機構，搬運機構的特征在于：所述搬運機構中設置有目標物體抓取機構和蓋板抓取機構，所述蓋板抓取機構用于在搬運機構搬運目標物體的時候，將所述目標物體上的蓋板抓離所述目標物體。相比于單獨設置取放蓋板的裝置，這種將取放蓋板的機構集成到搬運機構的設置方式簡化、緊湊了整體設備，節省空間，蓋板可以循環利用，且能夠減少取、放蓋板的時間，提高整體工作效率。

技術領域

本實用新型涉及一種集成有蓋板抓取機構的搬運機構，屬于自動化設備領域。

背景技術

在自動化設備領域中，對于所需搬運的物體上方有蓋的情形，通常在設備中設置一個蓋抓取機構，利用蓋抓取機構將蓋取走，利用搬運機構將需要搬運的物體搬運至目標位置，這使得整體設備占空大、復雜。

具體的，如，在給ALD反應腔室上下料的機構中，搬運機構需要將從反應腔室內鍍膜完畢的硅片搬運至目標位置，并將將要進行鍍膜的硅片搬運至反應腔室，而硅片在反應腔室鍍膜時，硅片載具的上方需要設置蓋板，那么在搬運過程中，需要將蓋從鍍膜完畢的硅片載具上取下（硅片之后要進行的工序不允許硅片載具上方有蓋板），如果單獨設置一個取蓋機構，這一取蓋機構的增加會使整體設備復雜化，且其本身占據一定的空間、蓋的放置位置也會占據一定空間。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有技術中存在的不足，提供一種集成有蓋板抓取機構的搬運機構，該機構相比于獨立設置蓋抓取機構的情形整體結構緊湊、占據空間小。在搬運機構對目標物體（硅片載具）搬運的同時，利用集成在搬運機構上的蓋板抓取機構將蓋板抓取，使之從硅片載具上分離，搬運機構將硅片載具搬運至目標位置后，在搬運載有將要鍍膜的硅片的硅片載具時，可以將蓋板蓋在硅片載具上，這樣，蓋板實現了循環利用，同時，取放蓋時間緊湊、生產節奏快。

本實用新型的集成有蓋板抓取機構的搬運機構中設置有目標物體抓取機構和蓋板抓取機構，所述蓋板抓取機構用于在搬運機構搬運目標物體的時候，將所述目標物體上的蓋板抓離所述目標物體。

進一步的，所述搬運機構中設置有移動機構，所述移動機構通過一連接板帶動所述蓋板抓取機構和所述目標物體抓取機構在各工作位置之間移動；所述蓋板抓取機構和所述目標物體抓取機構均設置在所述連接板上，所述目標物體抓取機構的抓取臂長與蓋板抓取機構的抓取臂長之差大于目標物體抓取位置和蓋板抓取位置的距離。

進一步的，所述的蓋板抓取機構包括兩個抓手和兩個抓手驅動裝置，所述兩個抓手結構相同，前后對稱設置，分別用于抓取蓋板的前后側，所述兩個抓手驅動裝置分別驅動所述兩個抓手在前后方向上運動。

進一步的，所述抓手包括上平板、下平板和連接所述上、下平板的抓手臂，所述上平板的下側沿前后方向滑動設置在所述連接板上，所述抓手驅動裝置固定在所述連接板的下側，且其輸出端連接所述抓手臂。

進一步的，在所述抓手上設置蓋板抓取檢測機構，用于檢測蓋板是否被抓起，和/或，在所述目標物體抓取機構中設置目標物體抓取檢測機構，用于檢測目標物體是否被抓起。

進一步的，所述目標物體抓取機構與所述蓋板抓取機構結構相同。

進一步的，所述移動機構包括縱向運動機構和豎直運動機構，所述縱向運動機構主要包括縱向驅動裝置、傳動軸、帶輪、皮帶；所述縱向驅動裝置的動力經減速分動后分別帶動位于縱向驅動裝置左右側傳動軸，所述傳動軸在遠離縱向驅動裝置端安裝有帶輪，帶輪與一位于所述帶輪后端的惰輪上繞設所述皮帶；與所述皮帶固定連接的一支撐板上設置有豎直運動機構，所述豎直運動機構主要包括豎直驅動裝置、絲杠、螺母；所述豎直驅動裝置固定在所述支撐板的上端，其輸出端連接豎直轉動設置在所述支撐板上的絲杠，螺紋配合在所述絲杠上的螺母與所述連接板固定連接。