[實用新型]基板放置架

有效

• 申請號: 201720979412.3
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN207248029U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 郝彬彬
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00;G01B5/30
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司11449
• 代理人: 蔡純,張靖琳

1.一種基板放置架，其為由兩個側板和上、下底板連接組成的框架結構，兩個所述側板相對設置，且所述側板內側對稱設置有多個用于放置基板的限位桿，其特征在于，所述限位桿和所述上底板之間設置有監測裝置，所述監測裝置用于監測并顯示所述基板和用于取放所述基板的叉片的形變量。

2.根據權利要求1所述的基板放置架，其特征在于，所述基板放置架還包括設置于所述限位桿和所述上底板之間的橫梁，所述監測裝置設置于所述橫梁朝向所述下底板的一側。

3.根據權利要求2所述的基板放置架，其特征在于，所述橫梁包括第一橫梁和第二橫梁，所述監測裝置器包括第一距離傳感器和第二距離傳感器，所述第一橫梁朝向所述下底板一側的兩端分別設置有所述第一距離傳感器，所述第二橫梁朝向下底板一側的兩端分別設置有所述第二距離傳感器，

其中，所述第一距離傳感器用于根據所述基板的形變量產生第一監測信號，所述第二距離傳感器用于根據所述叉片的形變量產生第二監測信號。

4.根據權利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述監測裝置還包括相互電連接的處理模塊和顯示模塊，所述處理模塊用于根據所述第一監測信號和所述第二監測信號分別得到所述基板和所述叉片的形變量，所述顯示模塊用于對所述基板和所述叉片的形變量進行顯示。

5.根據權利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一距離傳感器和所述第二距離傳感器可分別沿所在橫梁縱向或橫向移動預定距離。

6.根據權利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一橫梁和所述第二橫梁與所述上底板平行設置于同一平面內。

7.根據權利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一橫梁和所述第二橫梁的數量分別大于等于兩個。

8.根據權利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一距離 傳感器和所述第二距離傳感器包括選自光學式位移傳感器、線性接近傳感器以及超聲波位移傳感器中的任一種。

9.根據權利要求2所述的基板放置架，其特征在于，還包括供電裝置，所述供電裝置設置于所述橫梁和所述上底板之間，所述供電裝置用于分別為所述監測裝置提供供電電壓。