[實用新型]一種蝕刻機蓋體裝置

有效

• 申請號: 201720978133.5
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN207391552U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 王卓;李云良;楊定宇;馬鐵寧
• 申請（專利權）人: 上海利正衛星應用技術有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/22
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種蝕刻機蓋體裝置，該蓋體裝置設于蝕刻機頂部，其特征在于，所述蓋體裝置由電機，以及安裝在電機下方的多層圓盤結構，所述多層圓盤結構包括從下往上依次安裝的最下方圓盤、中間圓盤和最上方圓盤，所述最下方圓盤為圓孔狀結構，且相鄰圓孔之間的距離為圓孔直徑的3倍，圓孔按照一定的規律平行排列；所述中間圓盤為2個，采用圓孔狀結構，孔的直徑為最下層圓盤孔直徑的10％-20％，且相鄰圓孔之間的距離為圓孔直徑的2倍，圓孔按照一定的規律平行排列，所述最上方圓盤為空心結構，且圓盤的下端由致密的絲網組成，絲網中設有改性活性炭，改性活性炭的粒度略微大于絲網的空隙直徑。

2.如權利要求1所述的一種蝕刻機蓋體裝置，其特征在于，所述最下方圓盤的四角上均設有安裝蝕刻板的卡具。

3.如權利要求1所述的一種蝕刻機蓋體裝置，其特征在于，所述電機安裝在最上方圓盤的上方，轉軸端從上往下依次安裝有一個最上方圓盤、兩個中間圓盤和一個最下方圓盤。

4.如權利要求1所述的一種蝕刻機蓋體裝置，其特征在于，所述電機連接有一控制平臺，用于在鎂合金腐蝕時，通過控制電機電機帶動多層圓盤結構旋轉。