[實用新型]一種基于TPoS諧振器的溫度計

有效

• 申請號: 201720975897.9
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN207231662U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 李昕虎
• 申請（專利權）人: 李昕虎
• 主分類號: G01K7/32
• 分類號: G01K7/32
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙)33240
• 代理人: 杜軍

1.一種基于TPoS諧振器的溫度計，包括兩個TPoS諧振器、三個運算放大器、混頻器、低通濾波器、頻率電壓轉換器、負載電阻；其特征在于：

第一TPoS諧振器(11)的一端接第一運算放大器(21)的輸入端，第一TPoS諧振器(11)的另一端和第一運算放大器(21)的輸出端接混頻器(3)的一個輸入端；第二TPoS諧振器(12)的一端接第二運算放大器(22)的輸入端，第二TPoS諧振器(12)的另一端和第二運算放大器(22)的輸出端接混頻器(3)的另一個輸入端；混頻器(3)的輸出端接低通濾波器(4)的輸入端，低通濾波器(4)的輸出端接頻率電壓轉換器(5)的輸入端，頻率電壓轉換器(5)的輸出端接第三運算放大器(23)的輸入端，負載電阻(6)的一端接地，第三運算放大器(23)的輸出端與負載電阻(6)的另一端相接，作為溫度示數輸出端；

所述的第一運算放大器(21)和第二運算放大器(22)采用相同的運算放大器電壓放大特性一致；

所述的第一TPoS諧振器(11)和第二TPoS諧振器(12)處于同一硅基片上；兩個TPoS諧振器的準靜止中軸的夾角為θ，0°＜θ＜90°；兩個TPoS諧振器的單晶硅諧振塊長度分別為L₁和L₂，L₁≠L₂。

2.如權利要求1所述的一種基于TPoS諧振器的溫度計，其特征在于：所述的第一TPoS諧振器(11)和第二TPoS諧振器(12)均工作在側向擴張-收縮的振動模態，且兩個TPoS諧振器除了單晶硅諧振塊長度不同以外，其余結構尺寸完全相同。

3.如權利要求1所述的一種基于TPoS諧振器的溫度計，其特征在于：所述的第一運算放大器(21)、第二運算放大器(22)、第三運算放大器(23)、混頻器(3)、低通濾波器(4)、頻率電壓轉換器(5)和負載電阻(6)組成的外圍匹配電路，由分立元器件通過印刷電路板電路實現，或通過CMOS技術與TPoS諧振器集成在同一芯片上。