[實(shí)用新型]氣體分配組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720975030.3
• 申請(qǐng)日: 2015-04-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207376114U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·約德伏斯基;K·格里芬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種氣體分配組件，其特征在于，包括輸出面和至少一個(gè)傳感器，所述輸出面具有用于引導(dǎo)氣流的多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的氣體端口，所述至少一個(gè)傳感器經(jīng)定位以在測(cè)量期間接觸基座組件。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，進(jìn)一步包括支桿，所述支桿連接至基部，所述基部經(jīng)固定使得所述支桿能在不接觸的位置與接觸位置之間移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的氣體分配組件，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器連接至所述支桿，使得所述傳感器能在所述支桿上的不接觸的位置與接觸位置之間被移動(dòng)。

4.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器定位在所述氣體端口中的一個(gè)氣體端口內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，所述多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的氣體端口包括第一反應(yīng)氣體端口、第二反應(yīng)氣體端口、凈化氣體端口和至少一個(gè)真空端口。

6.如權(quán)利要求5所述的氣體分配組件，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器定位在凈化氣體端口內(nèi)。

7.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，所述氣體分配組件進(jìn)一步包括至少一個(gè)孔，所述至少一個(gè)孔位于所述氣體分配組件的不暴露于反應(yīng)氣體的區(qū)域中，并且所述至少一個(gè)傳感器定位在所述孔內(nèi)。

8.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器包括接觸式熱電偶。

9.如權(quán)利要求7所述的氣體分配組件，其特征在于，所述接觸式熱電偶從不接觸的位置移動(dòng)至用于測(cè)量的接觸位置。

10.如權(quán)利要求9所述的氣體分配組件，其特征在于，具有用于測(cè)量溫度的至少兩個(gè)傳感器，至少一個(gè)傳感器定位在所述氣體分配組件的內(nèi)周邊緣附近，并且至少一個(gè)傳感器定位在所述氣體分配組件的外周邊緣附近。

11.如權(quán)利要求1所述的氣體分配組件，其特征在于，進(jìn)一步包括控制器，所述控制器與所述至少一個(gè)傳感器通信以分析來(lái)自所述傳感器的數(shù)據(jù)。